超純水的水質(zhì)直接關(guān)系到半導(dǎo)體成品率

在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，edi超純水設(shè)備報價，超純水可用于晶圓漂洗、化學(xué)稀釋、化學(xué)機械研磨、潔凈室環(huán)境的加濕源等。超純水的質(zhì)量直接關(guān)系到半導(dǎo)體的成品率，隨著半導(dǎo)體元件尺寸的縮小和細(xì)度的提高，edi超純水設(shè)備，對超純水質(zhì)量的技術(shù)要求也在不斷提高。

在超純水生產(chǎn)過程中，只要微粒子、電阻率和TOC與氣泡中的某一指標(biāo)稍有差異，就會使半導(dǎo)體元件生產(chǎn)的合格率下降。

EDI超純水設(shè)備VS純水設(shè)備

EDI超純水設(shè)備VS純水設(shè)備DI超純水設(shè)備是一種采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理和后處理方法，幾乎完全去除水中的導(dǎo)電介質(zhì)，同時也將水中的不離解膠體物質(zhì)、氣體和有機物質(zhì)去除到很低的水平水處理設(shè)備。　　純水設(shè)備主要采用反滲透膜技術(shù)。其工作原理是對水施加一定壓力，edi超純水設(shè)備廠家，使水分子和離子礦物元素通過反滲透膜，而水中溶解的大多數(shù)無機鹽(包括重金屬)、有機物、細(xì)菌、病毒等都不能通過反滲透膜，使?jié)B透純水與不滲透濃水嚴(yán)格分離。反滲透膜的孔徑只有0.0001μm，而病毒的直徑一般為0.02-0.4μm，常見細(xì)菌的直徑為0.4-1μm。

EDI膜堆主要由交替排列的陽離子交換膜、濃水室、陰離子交換膜、淡水室和正、負(fù)電極組成。離子交換樹脂充夾在陰陽離子交換膜之間形成單個處理單元，并構(gòu)成淡水室，單元與單元之間用網(wǎng)狀物隔開，edi純水設(shè)備，形成濃水室。在直流電場的作用下，淡水室中離子交換樹脂中的陽離子和陰離子沿樹脂和膜構(gòu)成的通道分別向負(fù)極和正極方向遷移，陽離子透過陽離子交換膜，陰離子透過陰離子交換膜，分別進入濃水室形成濃水。同時EDI進水中的陽離子和陰離子跟離子交換樹脂中的氫離子和氫氧根離子交換，形成超純水（高純水）。超極限電流使水電解產(chǎn)生的大量氫離子和氫氧根離子對離子交換樹脂進行連續(xù)的再生。傳統(tǒng)的離子交換，離子交換樹脂飽和后需要化學(xué)間歇再生。而EDI膜堆中的樹脂通過水的電解連續(xù)再生，工作是連續(xù)的，不需要酸堿化學(xué)再生。

EDI裝置將給水分成三股獨立的水流：純水、濃水、和極水。純水（90%-95%）為終得到水，濃水（5%-10%）可以再循環(huán)處理，極水（1%）排放掉。

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