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半導(dǎo)體芯片退火
半導(dǎo)體芯片在經(jīng)過離子注入以后就需要退火。因?yàn)橥雽?dǎo)體中注入雜質(zhì)離子時(shí),熱處理,高能量的入射離子會(huì)與半導(dǎo)體晶格上的原子碰撞,使一些晶格原子發(fā)生位移,淬火熱處理,結(jié)果造成大量的空位,將使得注入?yún)^(qū)中的原子排列混亂或者變成為非晶區(qū),所以在離子注入以后必須把半導(dǎo)體放在一定的溫度下進(jìn)行退火,以恢復(fù)晶體的結(jié)構(gòu)和消除缺陷。同時(shí),高頻熱處理,退火還有施主和受主雜質(zhì)的功能,即把有些處于間隙位置的雜質(zhì)原子通過退火而讓它們進(jìn)入替代位置。退火的溫度一般為200~800C,比熱擴(kuò)散摻雜的溫度要低得多。
蒸發(fā)電極金屬退火
蒸發(fā)電極金屬以后需要進(jìn)行退火,使得半導(dǎo)體表面與金屬能夠形成合金,以接觸良好(減小接觸電阻)。這時(shí)的退火溫度要選取得稍高于金屬-半導(dǎo)體的共熔點(diǎn)(對(duì)于Si-Al合金,為570度)。
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