潔凈區(qū)內(nèi)的室內(nèi)裝修應(yīng)選用氣密性良好

潔凈區(qū)內(nèi)的室內(nèi)裝修應(yīng)選用氣密性良好，天津?qū)嶒炇已b修工程，且在溫度和濕度變化的作用下變形小的材料。潔凈室墻壁和頂棚的表面應(yīng)無裂縫、光潔、平整、不起灰、不落灰塵、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗、避免眩光（如采用瓷釉漆涂層墻面和金屬隔熱夾芯板），陰陽角均宜做成圓角，天津?qū)嶒炇已b修公司，以減少灰塵積聚和便于清洗。潔凈室地面尖整體好，天津?qū)嶒炇已b修價格，平整、無縫隙、耐磨、耐腐蝕、耐撞擊、不易積靜電、易除塵清洗（如采用環(huán)氧自流平整地坪或現(xiàn)澆水磨石地面）。

半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計的設(shè)計范圍

半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計的設(shè)計范圍包括：裝修方案（圍護、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設(shè)備、風(fēng)管、水管等），天津?qū)嶒炇已b修，特氣供應(yīng)方案（特氣柜含保險控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設(shè)備POU處理、房間排風(fēng)廢氣處理），電氣方案（空調(diào)設(shè)備動力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。

各種物件在送入潔凈區(qū)前必須經(jīng)過凈化處理，簡稱“物凈”。物料凈化路線與人凈路線應(yīng)分開，如果物料與人員只能在同一處進入潔凈室，也必須分門而入，物料并先經(jīng)過粗凈化處理。對于生產(chǎn)流水線不強的場合在物料路線中間可設(shè)中間庫。如果生產(chǎn)流水線很強，則采用直通式物料路線，有時還需要在直通路線中間設(shè)多次凈化、傳遞設(shè)施。在系統(tǒng)設(shè)計上，物凈用房的粗凈化和精凈化階段由于會吹落很多生微粒，所以相對潔凈區(qū)應(yīng)保持負(fù)壓或零壓，如果污染危險性大則對入口方向也要保持負(fù)壓。

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