中國電子氣體是僅次于硅片和硅基材料的第二大市場需求半導(dǎo)體材料，汽車尾氣檢測用氣體供應(yīng)商，電子氣體2016年的需求為48．02億，占比14％。據(jù)半導(dǎo)體協(xié)會統(tǒng)計，目前常用的電子氣體純氣有60多種，汽車尾氣檢測用氣體，混合氣80多種。中國電子氣體經(jīng)過近10年的發(fā)展，國內(nèi)涌現(xiàn)了一些生產(chǎn)質(zhì)量穩(wěn)定，能夠被半導(dǎo)體客戶接受的電子氣生產(chǎn)企業(yè)，但是，與巨大的、快速發(fā)展的國內(nèi)需求相比還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠，據(jù)業(yè)內(nèi)不完全數(shù)據(jù)統(tǒng)計，從2012年至2016年，國內(nèi)電子氣體企業(yè)實際生產(chǎn)銷售額占中國晶圓制造電子氣市場需求由3．8％增加至25．0％，預(yù)計2017年將增加至28．4％，雖然有了較大的發(fā)展和進(jìn)步，但國內(nèi)電子氣體企業(yè)生產(chǎn)總量遠(yuǎn)遠(yuǎn)滿足不了需求。

二氧化碳是惰性氣體，不存在燃燒、的風(fēng)險。即使鋼瓶的閥門損壞，其較大的風(fēng)險便是氣體快速噴出（嘶嘶響的噪聲較為難聽），而已。其次，汽車尾氣檢測用氣體多少錢，二氧化碳較低溫度-78.5℃，遠(yuǎn)高于液態(tài)氧氣的-120℃，高于氬氣的-189℃，高于液氮的-196℃，即使?jié)姙⒌狡骶呋蛏眢w上，也不會造成傷害。二氧化碳?xì)怏w本身成本較為劃算。在工業(yè)氣體中，較常用的是氧氣、氮氣、氬氣等，而二氧化碳僅僅是，壓縮液化氣體生產(chǎn)過程中副產(chǎn)品，汽車尾氣檢測用氣體銷售，通常一個40L的二氧化碳?xì)夤蓿▋?nèi)裝22-24L液態(tài)二氧化碳）收取的費用也的確較為便宜。使用氣體作為動力源，可以提供穩(wěn)定、強勁的動力。

我國電子氣體目前還屬于電子材料發(fā)展的短板，需著力發(fā)展，因此建議：國家應(yīng)落實和完善對該類企業(yè)的財稅、資金等優(yōu)惠政策支持，加大財政資金、大和金融部門的扶持力度，引導(dǎo)集成電路廠家使用國產(chǎn)電子氣體，從而幫助企業(yè)把握發(fā)展機遇，加快企業(yè)技術(shù)進(jìn)步和做大做強；企業(yè)應(yīng)努力提升技術(shù)創(chuàng)新和管理水平，加強質(zhì)量管控，用過硬產(chǎn)品為客戶服務(wù)。中國電子氣體產(chǎn)業(yè)目前仍處于發(fā)展的初級階段，總體產(chǎn)業(yè)規(guī)模較小，個別企業(yè)實力不足，而此時中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)從之前的千億扶持計劃，到中國制造2025，恰逢新興增長點的孕育崛起期，因此中國電子氣體產(chǎn)業(yè)面臨著的發(fā)展機遇。希望各電子氣體企業(yè)加快前瞻布局，加強技術(shù)創(chuàng)新，加速應(yīng)用推廣，積極發(fā)展壯大；也希望各主管部門、投資單位、半導(dǎo)體企業(yè)都能夠高度重視，為完善我國集成電路材料和零部件產(chǎn)業(yè)鏈和半導(dǎo)體發(fā)展做出新的更大貢獻(xiàn)。

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