給排水系統(tǒng)：

潔凈手術(shù)部水系統(tǒng)：

潔凈手術(shù)部水系統(tǒng)包括，給水、排水、熱水、純化水與高純水（如水）。

飲用給水系統(tǒng)不應(yīng)采用鍍鋅鋼管，食品凈化工程，可采用給水塑料管（鋼管內(nèi)壁襯塑）、聚丙乙烯管（PPR）、無縫銅管、不銹鋼管等。

排水系統(tǒng)常用聚、聚淥乙烯（PVC）材質(zhì)。

熱水系統(tǒng)的維持儲存溫度不低于60度，或循環(huán)溫度在51度以上。材質(zhì)常選用無縫銅管、不銹鋼管、聚丙乙烯管（PPR）。

純化水和高純水管道采用不銹鋼(SUS)。

凈化過濾要求;

通風(fēng)管道一般采用三級過濾，即普通過濾裝置、中效過濾裝置、過濾裝置。過濾器的質(zhì)量好壞，需要重點把關(guān)。質(zhì)量不好的過濾器，用的時間短，過濾效果不好。特別是風(fēng)阻過大，導(dǎo)致出風(fēng)量小。據(jù)我調(diào)查，千級凈化室過濾器，需到上海采購。通風(fēng)管道的鏈接部位，要用質(zhì)量好的密封圈。用密封膠來彌補(bǔ)密封圈的質(zhì)量問題，時間稍長一些，管道密封就會出問題，解決起來非常麻煩。會造成意想不到損失。送風(fēng)管道質(zhì)量出了問題，等于全部工程推倒重來。凈化工程質(zhì)量出問題，大部分是管道安裝出現(xiàn)問題，重新打密封膠，只能暫時解決問題。有的使用單位過濾器更換頻繁，一般都是送風(fēng)管道出現(xiàn)毛病，所以安裝凈化管道必須精心。工程監(jiān)理一分鐘都不可離開。

潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。

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