清洗設(shè)備干冰清洗設(shè)備一般可分為兩個(gè)部分：1．干冰粒制機(jī)。將液態(tài)CO2制作成一定規(guī)格的干冰顆粒，這些顆粒通常是直徑為3mm，長(zhǎng)度為2.5mm-10mm的高密度干冰顆粒。2．干冰高壓清洗機(jī)。該設(shè)備一般需要4.0bar以上、3m3/min以上的潔凈壓縮空氣氣源，裝入清洗機(jī)內(nèi)的高密度干冰顆粒，在壓縮空氣的驅(qū)動(dòng)下，隨著壓縮空氣，經(jīng)由特殊設(shè)計(jì)的噴系統(tǒng)混合、加速，干冰清洗機(jī)品牌，噴射到被清洗物體表面?？筛鶕?jù)需要：①只購(gòu)置干冰清洗機(jī)。將外購(gòu)的干冰顆粒裝入干冰清洗機(jī)進(jìn)行清洗作業(yè)。②購(gòu)置干冰粒制機(jī)與干冰清洗機(jī)，但分開單獨(dú)使用。把干冰粒制機(jī)生產(chǎn)的干冰粒貯存于密封容器中，運(yùn)至施工現(xiàn)場(chǎng)，裝入干冰清洗機(jī)進(jìn)行清洗作業(yè)。③將干冰粒制機(jī)與干冰清洗機(jī)配套成一個(gè)系統(tǒng)使用。

清洗機(jī)干冰清洗可以就地清洗，此種先進(jìn)的清洗方式不僅可以節(jié)省工時(shí)，更可大幅降低時(shí)間，比起舊式噴砂，不但沒有磨損的顧慮，又可以免除模具重新裝配的時(shí)間。干冰清洗去除模具上的脫模層和殘留材料，這些積累起來的污垢在模具處于高溫和在線情況下很容易被除掉。這樣的清洗方式可使因清洗而停機(jī)的時(shí)間縮短80%-95%。由于清洗過程沒有磨損，不會(huì)破壞精密模具的尺寸。另外，干冰清洗機(jī)多少錢，“微孔”可以被打通，清洗干凈，這樣就不再需要人工來鉆通排氣孔。

干冰作用速度對(duì)表面質(zhì)量的影響：干冰作用速度代表干冰噴嘴相對(duì)于靜止的封裝體單位時(shí)間內(nèi)移動(dòng)的距離，作用速度主要通過影響單位時(shí)間到達(dá)切割側(cè)壁表面的干冰顆粒數(shù)量和作業(yè)效率對(duì)處理效果產(chǎn)生重要影響。作用速度越小，表面單位面積單位時(shí)間受到的干冰顆粒數(shù)量越多，形成的顆粒力越強(qiáng)，表面雜質(zhì)越易受到剝離作用而去除。但是過小的速度不僅使作業(yè)效率降低，還會(huì)導(dǎo)致阻焊層破損嚴(yán)重。所以，干冰清洗機(jī)價(jià)格，控制好干冰作用速度對(duì)半導(dǎo)體封裝表面質(zhì)量改善效果意義重大。噴射角度主要影響阻焊層的破損率，這是因?yàn)槲⒘鸭y在 PCB 表面有一定的方向性，噴射角度越小， 微裂口方向與沖擊方向越垂直，阻焊層越容易沿著微裂方向形成大裂紋以致脫落；而噴射角度越大，微裂紋受到的沖擊力越平行于微裂口方向，微裂口受到的沖擊力越小，越不容易使裂紋擴(kuò)散變大。本實(shí)驗(yàn)封裝體樣品水平靜止放置，干冰噴嘴在其上方成不同角度進(jìn)行噴射，噴射角度對(duì)雜質(zhì)去除量的影響效果如圖6a 所示。噴射角度小于 70?時(shí)，表面 Cu 雜質(zhì)含量均較低，干冰清洗機(jī)，雜質(zhì)去除效果明顯；當(dāng)噴射角度大于 70?并繼續(xù)增加時(shí)，Cu 雜質(zhì)含量突然大幅度增加，接近未清洗時(shí)雜質(zhì)含量。



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