激光干涉儀是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行測(cè)量的儀器。 激光干涉儀是20世紀(jì)60年代末期問世的一種新型的測(cè)量設(shè)備，由美國(guó)HP公司研制成功并于1970年投入市場(chǎng)，隨即受到了相關(guān)行業(yè)特別是機(jī)床制造業(yè)的重視，其主要在：線形，江蘇金屬平面激光干涉儀、角度，江蘇金屬平面激光干涉儀、垂直度、直線度、平面度等方面上應(yīng)用，江蘇金屬平面激光干涉儀。 隨著激光干涉儀測(cè)量技術(shù)的不斷提高，測(cè)量軟件的不斷開發(fā)其測(cè)量范圍越來(lái)越***，特別是在測(cè)量數(shù)控機(jī)床位置精度方面用途**為***。 激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測(cè)量光束）則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。激光干涉儀重復(fù)性：λ/100 RMS。江蘇金屬平面激光干涉儀

激光干涉儀測(cè)量利用的是邁克爾遜干涉原理：(1)從SJ6000激光干涉儀主機(jī)出射的激光束（圓偏振光）通過(guò)分光鏡后，將分成兩束激光（線偏振光）；(2)兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過(guò)分光鏡后進(jìn)行疊加，由于兩束激光頻率相同、振動(dòng)方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件；(3)角錐反射鏡B每移動(dòng)半個(gè)激光波長(zhǎng)的距離，將會(huì)產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測(cè)量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長(zhǎng)。江蘇激光干涉儀品牌排行激光干涉儀測(cè)試項(xiàng)目：平行度。

激光干涉儀的發(fā)展史做衣量身、體檢量高都由尺子完成，這些日常尺子的刻度是毫米。機(jī)械零件加工和檢驗(yàn)都要需要用到尺子，在機(jī)械制造企業(yè)，卡尺、千分尺隨處可見，其精確度是10μm、1μm。1887年邁克爾遜（Michelson）和莫雷（Morley）研究以太[1]是否存在，使用了光。他們以光波長(zhǎng)作尺子刻度測(cè)量了水平面和垂直面的光速之差，***次否定了以太的存在。他們利用的是光的干涉現(xiàn)象，這就是光學(xué)干涉儀的誕生。注[1]:根據(jù)古代和中世紀(jì)科學(xué)，以太被稱為第五元素，是填充地球球體上方宇宙區(qū)域的物質(zhì)。以太的概念在一些理論中被用來(lái)解釋一些自然現(xiàn)象，例如光和重力的傳播。19世紀(jì)末，物理學(xué)家假設(shè)以太滲透到整個(gè)空間，以太是光在真空中傳播的介質(zhì)，但是在邁克爾遜-莫利實(shí)驗(yàn)中沒有發(fā)現(xiàn)這種介質(zhì)存在的證據(jù)，這個(gè)結(jié)果被解釋為沒有光以太存在。1961年研究人員發(fā)明了氦氖激光器，開始用氦氖激光器作為邁克爾遜干涉儀的光源，從而誕生了激光干涉儀。圖1是邁克爾遜干涉儀簡(jiǎn)圖。邁克爾遜干涉儀是普通物理的基本實(shí)驗(yàn)之一。***在科學(xué)研究和工業(yè)中應(yīng)用的激光干涉儀出于邁克爾遜，但性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)勝于邁克爾遜。

激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式：式中λ為激光波長(zhǎng)(N為電脈沖總數(shù))，算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí)，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。球面類光學(xué)元表面光圈、局部形變的測(cè)量、球面曲率半徑的測(cè)量等。

激光具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀。以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度、利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)(見激光測(cè)長(zhǎng)技術(shù))測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量工具。

激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀(jì)60年代中期出現(xiàn)的,**初用于檢定基準(zhǔn)線紋尺,后又用于在計(jì)量室中精密測(cè)長(zhǎng)。雙頻激光干涉儀是1970年出現(xiàn)的，它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對(duì)濕度59%、CO2含量0.03%)下的測(cè)量精確度很高，可達(dá)1×10-7。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。 激光干涉儀重復(fù)性：λ/50 P。江蘇大口徑激光干涉儀價(jià)位

激光干涉儀精密度：λ/65 PV.江蘇金屬平面激光干涉儀

單頻激光干涉儀：從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為 激光波長(zhǎng)(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí)，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。江蘇金屬平面激光干涉儀

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