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羅茨泵在泵腔內(nèi),有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上,由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一定的間隙,leybold真空泵維修,可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級(jí)泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,leybold 阿特拉斯,在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。
但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,v0空間與排氣側(cè)相通時(shí),由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強(qiáng)突然。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),氣體排出泵外。
BOXER 系列(130 至 460 對(duì)/8 小時(shí))Bühler Leybold Optics BOXER 系列是用于眼鏡鏡片鍍膜的通用性高、生產(chǎn)力高且實(shí)用的中到大型平臺(tái)。BOXER 系列以 700 mm 和 900 mm 不同腔室尺寸和可通過若干級(jí)進(jìn)行擴(kuò)展的能力為基礎(chǔ),是滿足個(gè)別生產(chǎn)(無論是 Rx 生產(chǎn)還是存貨生產(chǎn))需求的理想選擇。BOXER 系列鍍膜機(jī)進(jìn)行的加工包括從經(jīng)典的寬帶減反膜到吸光層(防曬)。BOXER 系列還適用于潔凈室用途。優(yōu)化的設(shè)置提供出色的性能BOXER 系列采用位于鍍膜腔中心的高功率電子,確保了基底上的鍍膜材料的均勻沉積。緊湊式平臺(tái)設(shè)計(jì)僅需少的占地空間且包括強(qiáng)大的真空泵、大效率邁斯納冷阱和單或雙石英晶體監(jiān)視器以大程度提。不同的系統(tǒng)型號(hào)可提供靈活的應(yīng)用BOXER 真空鍍膜機(jī)提供四種不同的版本以滿足客戶的特定需要。如果對(duì)系統(tǒng)的需求隨著時(shí)間變化,其硬件可輕松進(jìn)行擴(kuò)展,從而提高生產(chǎn)力。BOXER 900 采用更大體積的腔室,在產(chǎn)量方面經(jīng)過優(yōu)化,且可滿足大批量的生產(chǎn)需求。提供無數(shù)定制選件,包括適用于無機(jī)玻璃應(yīng)用的雙石英晶體監(jiān)視器、翻轉(zhuǎn)布置以及加熱系統(tǒng)。智能設(shè)計(jì),易于維護(hù)BOXER 鍍膜系統(tǒng)的矩形設(shè)計(jì)可方便腔室屏蔽的快速拆卸以進(jìn)行清洗,而 BOXER 900 可通過屏蔽的滑動(dòng)布置實(shí)現(xiàn)類似的輕松清洗。專門開發(fā)的“一鍵式修復(fù)”系統(tǒng)可方便基底支架的更換,由此有效地縮短基底傳送的時(shí)間。
真空泵原因,這與人有病要去醫(yī)的簡(jiǎn)單道理一樣,因?yàn)檎婵毡镁S修是真空泵管理的一個(gè)重要內(nèi)容,一方面通過維修更換已損壞或可能將損壞的零部件,調(diào)整長(zhǎng)期運(yùn)行中變化了的一些機(jī)械參數(shù),使真空泵維修后,真空泵能夠提,維持至下一維修周期內(nèi)不發(fā)生意外故障。另一方面通過維修能幾類真空泵管理經(jīng)驗(yàn),實(shí)行對(duì)真空泵改進(jìn)的措施。 真空泵維修的進(jìn)展,就像人生病一樣,醫(yī)生通過對(duì)的常規(guī)檢查或各種儀器等的數(shù)據(jù),結(jié)合人體解剖學(xué)知識(shí)或臨床經(jīng)驗(yàn),leybold真空泵配件,推測(cè)體內(nèi)的病變,盡量不用開刀而準(zhǔn)確診斷,從而對(duì)癥下藥。真空泵故障診斷也希望無需把正在運(yùn)轉(zhuǎn)的真空泵停下來拆開而用各種方法取得有關(guān)數(shù)據(jù),診斷真空泵內(nèi)部的故障狀況,從而采取一定的維修措施,使真空泵長(zhǎng)周期、運(yùn)轉(zhuǎn)。真空泵維修一方面是消除故障隱患,leybold,在發(fā)生上述兩類故障前把隱性故障排除;另一方面使真空泵長(zhǎng)周期運(yùn)轉(zhuǎn),也為真空泵的進(jìn)一步改進(jìn)提供依據(jù)。事后維修,俗語壞了就修,故障發(fā)生后根據(jù)故障的性質(zhì)及范圍決定維修內(nèi)容,這類維修造成損失較大,它打亂了生產(chǎn)計(jì)劃。因維修準(zhǔn)備倉促而無法保證維修質(zhì)量,停機(jī)周期廠,往往不能在停機(jī)維修發(fā)生故障部位的同時(shí),會(huì)防不勝防。 真空泵不能啟動(dòng),主要表現(xiàn)為真空泵加電后不能啟動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)。這時(shí)應(yīng)首先檢查真空泵的電路部分,如保險(xiǎn)管是否燒毀、電路部分有沒有元?dú)饧龎?。在真空狀態(tài)下,氣體通過管道的流動(dòng)屬于稀薄氣體流動(dòng)。在真空系統(tǒng)管路中的氣流有五種流動(dòng)狀態(tài):湍流(又稱紊流、渦流);湍-粘滯流;粘滯流(又稱層流、粘性流、泊稷葉流);粘滯-分子流;分子流(又稱自由分子流、克努森流)。湍-粘滯流是湍流和粘滯流之間的過渡狀態(tài),粘滯-分子流是粘滯流和分子流之間的過渡狀態(tài)。
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