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氣體質(zhì)量流量控制器流速和流量之間的關(guān)系
流量通常分為體積流量、質(zhì)量流量和重量流量三種:
體積流量的公式為Q=VS,Q代表氣體的體積流量(m/s),質(zhì)量流量計(jì)價(jià)格,V代表氣體的平均流速(m/s),S代表氣路管道的橫截面積(㎡)。
質(zhì)量流量則是M=ρQ=ρVS,M代表氣體的質(zhì)量流量(kg/s),ρ代表氣體的密度(kg/m),質(zhì)量流量計(jì)廠家,Q代表氣體的體積流量(m/s)。
重量流量則是G=γQ=ρgVS=gM,質(zhì)量流量計(jì)多少錢,G代表氣體的重量流量(kgf/s),γ代表氣體的介質(zhì)重度(N/㎡),M代表氣體的質(zhì)量流量(kg/s)。
使用氣體質(zhì)量流量控制器注意事項(xiàng)
1.怕粉塵, 若粉塵進(jìn)到氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)部會(huì)阻塞傳感器和分流器, 導(dǎo)致數(shù)據(jù)誤差, 所以建議在MFC進(jìn)氣口前加裝過濾裝置;
2.怕液體和油漬進(jìn)到MFC, 一旦有液體進(jìn)入到MFC內(nèi)部會(huì)導(dǎo)致無法控制,所以建議在MFC進(jìn)氣口前端還要加裝干燥裝置, 假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥, 避免液體流回;
3.怕應(yīng)用濕冷的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì)使不銹鋼生銹, 導(dǎo)致MFC通道毀壞, 因而在應(yīng)用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統(tǒng)開展烘干解決;,并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性,還要使用惰性氣體對管路進(jìn)行吹掃,然后再通腐蝕性氣體,等MFC工作結(jié)束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路,保證管路中不會(huì)殘存腐蝕性氣體。
4.怕在應(yīng)用強(qiáng)腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時(shí)不按安全性標(biāo)準(zhǔn)實(shí)際操作, 這樣有可能導(dǎo)致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。
5.使用MFC前還需要將MFC進(jìn)行通電預(yù)熱,保證MFC在不通氣時(shí),瞬時(shí)流量處于0的位置,質(zhì)量流量計(jì),如果不通氣時(shí),瞬時(shí)流量顯示有一定的數(shù)值,表示傳感器出現(xiàn)“零漂”現(xiàn)象,可以先對MFC進(jìn)行調(diào)零處理,否則將影響MFC的精度。
氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么?
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器、通道、電磁調(diào)節(jié)閥和電路板等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量積算儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源, 設(shè)定電位器, 和三位閥控開關(guān)等。
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