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航天技術(shù)的不斷發(fā)展,泄漏問題已經(jīng)成為航天產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造中必須考慮的關(guān)鍵因素,越來(lái)越多的收到各方關(guān)注,相關(guān)電子元器件漏率檢測(cè)已經(jīng)引起科研人員的高度重視,目前應(yīng)用檢漏技術(shù)的主要是為密封繼電器、集成電路外殼。利用氫質(zhì)譜檢漏儀可以方便地對(duì)密封繼電器作漏率測(cè)定。針對(duì)不同的產(chǎn)品,采用合適的檢漏方法。目前密封繼電器的漏率檢測(cè)主要是GJB360A-96的112實(shí)驗(yàn)程序。
真空檢漏向各個(gè)加熱電極、爐體水套等通水腔體內(nèi)噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格,可以用塑料布、膠帶對(duì)的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進(jìn)行包裹罩封,氣密檢漏儀廠家,然后向罩中噴入氮?dú)?,觀察檢漏儀的漏率變化,閥門氣密檢漏儀,如果緩慢上升,說(shuō)明被包裹的位置存在漏點(diǎn)。極限壓力不合格,升壓率合格這種情況原因通常出現(xiàn)在粗抽閥到機(jī)械泵部分的各個(gè)連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。
真空檢漏的具體方法為了方便說(shuō)明真空檢漏方法,我們以真空爐為例進(jìn)行真空檢漏。真空爐主要由機(jī)械泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵、前級(jí)管路、爐體等幾部分組成。真空爐的生產(chǎn)中為常見問題是極限壓力合格,而升壓率不合格,或者是兩者都不合格,差壓氣密檢漏儀,比較少見的是升壓率合格但極限壓力不合格。極限壓力合格,升壓率不合格極限壓力合格說(shuō)明設(shè)備沒有明顯漏點(diǎn),浙江氣密檢漏儀,且真空系統(tǒng)的抽氣性能正常。升壓率不合格,主要原因是從粗抽閥到爐體有-些較小的漏點(diǎn),通常在1x10-9~9。9x104pa。m3/s之間。
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