質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。主要配置：檢漏儀分子泵。機械泵或者干泵。定制檢漏儀電磁閥。內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏口。放大器。質(zhì)譜模塊。檢漏儀啟動時間：≤5min。響應(yīng)時間：≤1s檢漏口的。高壓力：1500Pa。電源要求：220v，50Hz，檢測氣密性設(shè)備廠家，單相，10A。工作環(huán)境：5-35℃。

由于真空系統(tǒng)的多樣性，檢漏方法也各式各樣，廠家也設(shè)計制造了許多專門用于檢漏的儀器（真空檢漏儀）。選擇真空檢漏儀檢漏方法的原則主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個單個漏孔，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設(shè)備的允許漏率為10-11w，而必須選用的檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W；。

檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護工程師，才能使用此儀器。使用時，注意觀察儀器的運行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問題（如較大振動、高噪音等），儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。

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