刻蝕相對光刻要容易。光刻機(jī)把圖案印上去，然后刻蝕機(jī)根據(jù)印上去的圖案刻蝕掉有圖案（或者沒有圖案）的部分，留下剩余的部分。

“光刻”是指在涂滿光刻膠的晶圓（或者叫硅片）上蓋上事先做好的光刻板，然后用紫外線隔著光刻板對晶圓進(jìn)行一定時(shí)間的照射。原理就是利用紫外線使部分光刻膠變質(zhì)，易于腐蝕。

“刻蝕”是光刻后，煙臺激光腐蝕機(jī)機(jī)械設(shè)備，用腐蝕液將變質(zhì)的那部分光刻膠腐蝕掉（正膠），晶圓表面就顯出半導(dǎo)體器件及其連接的圖形。然后用另一種腐蝕液對晶圓腐蝕，形成半導(dǎo)體器件及其電路。

擴(kuò)展資料：

光刻機(jī)一般根據(jù)操作的簡便性分為三種，手動、半自動、全自動

1.手動：指的是對準(zhǔn)的調(diào)節(jié)方式，是通過手調(diào)旋鈕改變它的X軸，Y軸和thita角度來完成對準(zhǔn)，對準(zhǔn)精度可想而知不高了；

2.半自動：指的是對準(zhǔn)可以通過電動軸根據(jù)CCD的進(jìn)行定位調(diào)諧；

3.自動： 指的是 從基板的上載，曝光時(shí)長和循環(huán)都是通過程序控制，小型激光腐蝕機(jī)機(jī)械設(shè)備，自動光刻機(jī)主要是滿足工廠對于處理量的需要。

簡易而言，說白了的蝕刻機(jī)，便是在芯片加工的全過程中所務(wù)必應(yīng)用的一種機(jī)器設(shè)備，這類機(jī)器設(shè)備的功效就好像是手工雕刻中的雕刻刀一樣，用諸多方式把一塊詳細(xì)的金屬板中大家不用的一部分給去祛除，剩余的便是大家必須的電源電路了。

集成ic蝕刻加工的全過程：金屬板的表面上面有一部分沒有遮蓋光刻技術(shù)，而這一部分金屬材料在蝕刻機(jī)的功效下被去除開，隨后金屬板（換句話說圓晶）的表面就變成了大家要想的樣子。

蝕刻機(jī)的目地便是持續(xù)把金屬板表面大家不用的一部分給挖去。

為了更好地做到以上目地，初是應(yīng)用的化學(xué)物質(zhì)來挖去這種化學(xué)物質(zhì)，終究化學(xué)物質(zhì)能夠 跟金屬板中的原材料產(chǎn)生反映，十分迅速便捷，環(huán)保激光腐蝕機(jī)機(jī)械設(shè)備，可是在其中也造成了一個(gè)非常大的難題：液態(tài)的腐蝕是向每個(gè)方位的，不太好操縱。

打個(gè)品牌形象的比如，你用一塊木板可以遮擋水災(zāi)嗎？回答是不可以，由于水就會繞開這方面木板。而用化學(xué)物質(zhì)腐蝕金屬表面有很多的缺點(diǎn)。下邊這幅圖就很好的表明了這類難題，有機(jī)化學(xué)液態(tài)繞開了遮蓋圓晶表面的光刻技術(shù)，腐蝕了大家不愿腐蝕的一部分。如果我們規(guī)定電源電路十分細(xì)，那麼這類不必要的腐蝕毫無疑問會危害電源電路的特性。這就如同一根柱頭，你一直在兩側(cè)挖去一點(diǎn)兒，假如這一根柱頭太粗，那麼沒有什么很大的關(guān)聯(lián)，假如這一根柱頭很細(xì)，那麼可能就需要扔掉了——這也是為什么化學(xué)物質(zhì)蝕刻加工的方式不適感用以高些制造的集成ic。

因此 大家必須一種不容易轉(zhuǎn)彎的化學(xué)物質(zhì)來腐蝕金屬表面，這類物品是什么呢？回答是“光”。僅是不容易轉(zhuǎn)彎的，因此 能夠 挺直地腐蝕金屬表面。當(dāng)然，這兒的“光”并不是確實(shí)光，只是一種等離子技術(shù)，根據(jù)等離子技術(shù)來對金屬表面開展蝕刻加工。為何低溫等離子能夠 腐蝕金屬表面、如何造成低溫等離子的，這一不重要，大家只必須了解低溫等離子蝕刻機(jī)更強(qiáng)、能夠 用于生產(chǎn)制造更高精密的集成ic就可以了。

前面所描述的印法，圖文是以不同色彩的油墨來表現(xiàn)的，但在許多特殊的場合，諸如通訊設(shè)備的面板、尺板、度盤，或在惡劣環(huán)境下所適應(yīng)的有機(jī)玻璃的圖文表示等，網(wǎng)印油墨的墨層有可能會產(chǎn)生一些弊端，采用色彩蝕刻機(jī)蝕刻的方法，會有所改善。

所謂彩色蝕刻，是指將醇溶性顏料，按不同的比列溶解于有機(jī)玻璃有侵蝕作用的中，使有機(jī)玻璃上的圖文表面溶解，待揮發(fā)后，顏色已與有機(jī)玻璃的圖文表面層溶于一體，具有結(jié)合牢度強(qiáng)、耐磨性、耐候性好的特點(diǎn)。

工藝流程 有機(jī)玻璃清潔處理----噴涂抗蝕刻感光膠---曝光---顯影著色---彩色蝕刻---去膠膜----成型----去防所紙----拋光---成品

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