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間隙距離,真空的擊穿電壓與間隙距離有著比較明確的關系。試驗表明,當間隙距離較小時(≤5mm),擊穿電壓隨著間隙距離的增加而線性增長,但隨著間隙距離的進一步增加,擊穿電壓的增長減緩,即真空間隙發(fā)生擊穿的電場強度隨著間隙距離的增加而減小。當間隙達到一定的長度后(≥20mm),單靠增加間隙距離提高耐壓水平已經(jīng)十分困難,這時采用多斷口反而比單斷口有利。
電氣監(jiān)控及報警裝置。齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑,上端蓋內德軸承用PFPE油脂潤滑。第二、三、四級均有凈化入口,無油立式真空泵,以改善被抽介質順利通過泵腔,無此需要的可以不用通凈化氣體,凈化氣體用三個流量計分別調節(jié),駐馬店真空泵,相互都是獨立的,以保證節(jié)約惰性氣體,利用三個電磁閥可微調其流量。入口防返流閥能將被抽容器與泵腔隔斷,出口處截流閥能將泵的出口封閉起來,將泵通以凈化氣體,干式螺桿真空泵,這些閥可自動開關,真空系統(tǒng)有可靠得保護,了向真空室的返流。
關于電極的表面狀況,電極的表面狀況對真空間隙的擊穿電壓影響較大。電極表面的氧化物、雜質和金屬微粒都會使真空間隙的擊穿電壓明顯下降。此外,無論真空滅弧室的電極表面在制造中加工得如何,大電流開斷均會使電極表面變得凸凹不平,螺桿式真空泵,這也將使得擊穿電壓降低。老煉效應,電極老煉有電壓老煉和電流老煉兩種,在使用真空泵起著很大的作用。
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