質(zhì)譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。檢漏儀應(yīng)在校驗(yàn)后使用并在檢漏期間每1-2小時(shí)校驗(yàn)。漏孔距離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時(shí)間也不同，所以噴氦氣應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開始由近至遠(yuǎn)進(jìn)行。檢漏設(shè)備因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應(yīng)依照由下而上，由近而遠(yuǎn)的順序進(jìn)行。檢漏主要領(lǐng)域：冶金——真空電爐；低溫與壓力容器——液氮和液氦儲(chǔ)存罐、生物制品容器及各類壓力容器；輕工產(chǎn)品——保溫杯、太陽(yáng)能集熱管、飲料罐口等。檢漏主要領(lǐng)域：空調(diào)制冷工業(yè)——壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；真空科學(xué)與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機(jī)、真空爐等真空系統(tǒng)；可先用氮?dú)饣蚱渌栊詺怏w將設(shè)備壓力提高，然后用純氦氣或氦氣混合氣把測(cè)試設(shè)備的內(nèi)壓增加至測(cè)試壓力且應(yīng)使設(shè)備內(nèi)部至少含有10%-20%的氦氣含量。

真空檢漏的具體方法為了方便說明真空檢漏方法，我們以真空爐為例進(jìn)行真空檢漏。真空爐主要由機(jī)械泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵、前級(jí)管路、爐體等幾部分組成。真空爐的生產(chǎn)中為常見問題是極限壓力合格，而升壓率不合格，或者是兩者都不合格，比較少見的是升壓率合格但極限壓力不合格。極限壓力合格，升壓率不合格極限壓力合格說明設(shè)備沒有明顯漏點(diǎn)，且真空系統(tǒng)的抽氣性能正常。升壓率不合格，主要原因是從粗抽閥到爐體有-些較小的漏點(diǎn)，通常在1x10-9~9。9x104pa。m3/s之間。

檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對(duì)各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其廣泛應(yīng)用。使用氦氣噴在管道密封接頭，焊縫處噴氦，如果被檢管道某處有泄漏，當(dāng)氦噴到漏孔上時(shí)，氣密測(cè)試儀，氦氣會(huì)立刻被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴(kuò)散到質(zhì)譜室內(nèi)，檢漏儀感應(yīng)到氦就會(huì)立刻有響應(yīng)。從而達(dá)到了檢漏的結(jié)果。于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、焊渣以及設(shè)備內(nèi)部的積水、污垢等都會(huì)使泄漏孔暫時(shí)阻塞而影響檢測(cè)結(jié)果，因此，測(cè)試前必須設(shè)備內(nèi)部清理干凈及焊縫表面并用熱風(fēng)裝置將設(shè)備內(nèi)部干燥。

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