真空泵是一種較為精密的機械設備，愛德華真空泵e2m80，用戶在使用過程中，真空泵抽真空難免出現(xiàn)抽氣量不足或者真空度不高的現(xiàn)象，引起這些現(xiàn)象的原因是很多的。

真空泵真空度降低該怎么辦？

真空泵真空度降低的故障原因：管道密封不嚴，有漏氣的地方;密封填料磨損;葉輪與端蓋的間隙過大;水環(huán)溫度過高(一般不應超過40℃)。

真空泵真空度降低的排除方法：擰緊法蘭螺釘或更換襯套;更換填料;調(diào)整間隙(一般應為0.15～0.2mm);增加水量并降低進水溫度。

英國愛德華真空泵配件維修哪里好？

    英國愛德華真空泵，等離子清洗機真空泵E2M 80真空泵是的真

空泵，應用范圍很廣泛，在一些真空要求很高的行業(yè)，使用愛德華真空泵的很多

    現(xiàn)在市場是一個開放的市場，市場化程度很高，做真空泵配件維修的廠家和個

人也很多，有些是生產(chǎn)廠家，有些個體經(jīng)營，技術水平也是參差不齊，惠陽愛德華真空泵，作為使用

者。我們又該如何選擇，是哪里便宜找誰，還是找熟人介紹的，還是找？

    其實，作為買家或者說消費者，我覺得應該是找那種，技術水平高，售后

有保障，那才是我們的選則，畢竟真空泵還是屬于設備類的，愛德華e2m80真空泵，配件維修質(zhì)量好，

我們的機器才能更好的工作，才能保證我們的生產(chǎn)不耽擱。

化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用工程師之一來選擇適當?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過選擇適當?shù)?干泵產(chǎn)品來克服四個特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機構。 對于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以確保泵在應力下保持 旋轉。

冷凝

半導體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變?yōu)楣滔?。在泵送這些副產(chǎn)品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內(nèi)表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品，愛德華真空泵rv12，您需要確保可以 將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。我們的泵設計 具有可選的溫度設和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設上 達到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。

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