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光刻膠
① 工藝角度普通的光刻膠在成像過程中,由于存在一定的衍射、反射和散射,降低了光刻膠圖形的對比度,從而降低了圖形的分辨率。隨著曝光加工特征尺寸的縮小,NR71 3000PY光刻膠,入射光的反射和散射對提高圖形分辨率的影響也越來越大。為了提高曝光系統(tǒng)分辨率的性能,NR71 3000PY光刻膠報價,人們正在研究在曝光光刻膠的表面覆蓋抗反射涂層的新型光刻膠技術(shù)。該技術(shù)的引入,可明顯減小光刻膠表面對入射光的反射和散射,從而改善光刻膠的分辨率性能,但由此將引起工藝復(fù)雜性和光刻成本的增加。② 曝光系統(tǒng)伴隨著新一代曝光技術(shù)(NGL)的研究與發(fā)展,為了更好的滿足其所能實現(xiàn)光刻分辨率的同時,光刻膠也相應(yīng)發(fā)展。先進曝光技術(shù)對光刻膠的性能要求也越來越高。③光刻膠的鋪展如何使光刻膠均勻地,NR71 3000PY光刻膠價格,按理想厚度鋪展在器件表面,實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。④光刻膠的材料從光刻膠的材料考慮進行改善。
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如何選擇光刻膠
光刻膠必須滿足幾個硬性指標(biāo)要求:高靈敏度,高對比度,好的蝕刻阻抗性,高分辨力,易于處理,高純度,長壽命周期,低溶解度,低成本和比較高的玻璃化轉(zhuǎn)換溫度(Tg)。主要的兩個性能是靈敏度和分辨力。大多數(shù)光刻膠是無定向的聚合體。當(dāng)溫度高于玻璃化轉(zhuǎn)換溫度,聚合體中相當(dāng)多的鏈條片以分子運動形式出現(xiàn),因此呈粘性流動。當(dāng)溫度低于玻璃化轉(zhuǎn)換溫度,鏈條片段的分子運動停止,聚合體表現(xiàn)為玻璃而不是橡膠。當(dāng)Tg低于室溫,膠視為橡膠。當(dāng)Tg高于室溫,膠被視為玻璃。由于溫度高于Tg時,聚合體流動容易,于是加熱膠至它的玻璃轉(zhuǎn)化溫度一段時間進行退火處理,可達到更穩(wěn)定的能量狀態(tài)。在橡膠狀態(tài),溶劑可以容易從聚合體中去除,如軟烘培膠工藝。但此時膠的工作環(huán)境需要格外關(guān)注,當(dāng)軟化膠溫度大于Tg時,它容易除去溶劑,但也容易混入各種雜質(zhì)。一般來說,結(jié)晶的聚合體不會用來作為膠,因為結(jié)晶片的構(gòu)成阻止均一的各向同性的薄膜的形成。
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光刻膠分類
正性光刻膠和負(fù)性光刻膠
光刻膠可依據(jù)不同的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)進行分類。按照化學(xué)反應(yīng)和顯影的原理,光刻膠可分為正性光刻膠和負(fù)性光刻膠。如果顯影時未曝光部分溶解于顯影液,形成的圖形與掩膜版相反,稱為負(fù)性光刻膠;如果顯影時曝光部分溶解于顯影液,形成的圖形與掩膜版相同,稱為正性光刻膠。
在實際運用過程中,NR71 3000PY光刻膠多少錢,由于負(fù)性光刻膠在顯影時容易發(fā)生變形和膨脹的情況,一般情況下分辨率只能達到 2 微米,因此正性光刻膠的應(yīng)用更為廣泛。
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