3、微量水和微量氧分析：

一、微量氧分析儀

在高純氣體的分析中，幾乎所有的高純氣體中都要求準確測定其中微量氧的含量。由于大氣中含有大量的（21%）氧，準確測定高純氣體中微量氧乃至痕量氧，是氣體分析中的難點之一。

二、微量水分析儀

微量水分也是評價高純氣體質(zhì)量的主要指標之一。幾乎所有的高純氣體都對水分有嚴格的要求，準確測量和嚴格控制高純氣體中水分含量，才能保證高純氣體的質(zhì)量。

4、非色散紅外分析法

非色散紅外氣體分析器是利用不同的氣室和檢測器測量混合氣體中的二氧化碳、氨、丙烷、丁烷等組分的含量。

非色散紅外氣體分析器主要由紅外光源、試樣室、濾波器、斬波器、檢測器、放大器及數(shù)據(jù)顯示裝置組成。

檢測器是儀器的交鍵部件，紅外檢測器分成熱檢測器和光子檢測器兩種類型。熱檢測器是一種能量轉(zhuǎn)換器，可以把熱能轉(zhuǎn)換成電信號，電信號經(jīng)放大后，輸入數(shù)據(jù)裝置。光子檢測器接受紅外輻射，將半導體中的電子從非導電能級激發(fā)到導電能級，在這一過程中半導體的電阻有所降低。所以半導體檢測器比熱檢測器響應快。

    電子混合氣體和計量學上的標準氣體有許多相似的特點，但又有許多不同，電子混合氣體除了要保證其配制濃度的外，更需要氣體具有優(yōu)良的品質(zhì)，換言之，電子混合氣體必須要確?；旌虾玫臍怏w中含有的有害雜質(zhì)不能高于某值。在8in以上的IC生產(chǎn)線，也應對混合氣體中含有的顆粒物進行控制和定值。

   1、電子混合氣體的氣瓶處理

   同其他氣體不同，對盛裝電子混合氣體的氣瓶的要求十分嚴格，否則，即便是混合氣體配制的準確度再高，穩(wěn)定性再好也無法使用。

   首先混合氣體的氣瓶幾何尺雨如體積、直徑、瓶高度要滿足用戶要求。在半導體等領域，氣瓶通常安放在氣瓶柜內(nèi)使用，常德高純氙氣，氣瓶柜的尺寸及連接的管閥件確定后，氣瓶的高矮胖瘦就不能隨心所欲了。對于不同種類的混合氣在氣瓶色標、警示標志等方面國外已有極其詳細的標準，如美國的CGA、歐盟的ISO等，我們國家在此方面仍在認識和完善中。

   2、電子混合氣體配制裝置技術要求

   同其他標準氣體制備不同的是，配制電子混合氣體的裝置似乎更為復雜，電子混合氣體配氣裝置所用的管路必須是EP級別，材質(zhì)為316L，精密壓力表或壓力傳感器精度優(yōu)于0.25級，材質(zhì)316L。為確保配制裝置不產(chǎn)生污染使用前要求系統(tǒng)。

    均勻性是考察標準氣體性能的一個重要指標。標準氣體的特性應該是均勻的即在規(guī)定的范圍內(nèi)其量值保證不變。不論采用哪種方法制備的標準氣體，都需要進行混勻處理。標準氣體的混勻方法有：熱處理法、鋼瓶滾動法、特殊充填法、自然擴散法、其他混勻方法等，幾種混勻操作方法如下：

    熱處理法

一般將制備好的標準氣體的容器置于40℃以下的溫水浴中加熱，高純氙氣供應商，使氣體組分較快的混合均勻。

鋼瓶旋轉(zhuǎn)滾動法

將鋼瓶水平放在混勻半置的滾動軸上，使它繞軸心旋轉(zhuǎn)民。該法混勻所需時間短，高純氙氣裝瓶，操作簡單。

特殊充填法

在充填某些氣體時，可將鋼瓶倒立并保持45℃的傾斜，定制高純氙氣哪家好，從下端充氣，促使氣體絕熱膨脹，產(chǎn)生放熱效應，氣體可以在充填的同時混合均勻。

自然擴散法

將充入標準氣體的鋼瓶倒立在合適的位置，靜止不動，靠氣體本身的自然擴散來達到混合均勻，但此法所需時間較長。

其他混勻方法

采用靜態(tài)混合容器或使用特殊構造的容器閥門，可以在很短時間內(nèi)使標準氣體混合均勻。

不管采用哪種方法進行混勻處理，必須用另一種的分析方法進行檢驗。在標準氣體研究階段，要考察所研究的標準氣體的均勻性，一般采用氣相色譜法在相同的操作條件下，進行測定，以考察標準氣體的均勻性，通常用平均值的一致性檢驗方法來判斷。由于均勻性是考察同一瓶標準氣體在制備完以后，多長時間量值達到穩(wěn)定，由有限次測定得到的平均值，在方法的不確定范圍內(nèi)應該是不顯著的。如果差異是顯著的，這個因素就是標準氣體的不均勻性造成的。

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