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凈化棚的潔凈度會受氣流影響
在凈化棚的實(shí)際應(yīng)用中,潔凈度往往會受到氣流的影響,而氣流又受其他因素影響,這就可以說潔凈度受這些因素間接影響。
1、凈化車間是可以快速組建的簡易潔凈室,而且還有安裝快速、施工周期短、價(jià)格低廉、移動方便等優(yōu)點(diǎn),把主要生產(chǎn)工序控制在較小的環(huán)境內(nèi)也是潔凈室設(shè)計(jì)的選擇。
2、一般凈化棚的操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的一些氣流分流點(diǎn),應(yīng)該設(shè)在潔凈室空間與隔墻板距離三分之二的地方,這樣就可以使得作業(yè)人員在作業(yè)時,氣流可以從制程區(qū)的內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),從而輕易的將細(xì)微的灰塵帶走;如果分流點(diǎn)分布在制程區(qū)的前面方,那么就可能成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?,這個時候大部分的氣流將流至制程區(qū)的后面,作業(yè)人員由于在操作的過程當(dāng)中引起的一些塵埃就會被帶到設(shè)備的后面,工作臺就會因此受到污染,良品率也會相對的降低。
3、風(fēng)機(jī)從FFU的頂部將空氣吸入,經(jīng)過初效過濾器,過濾器的過濾,過濾后的潔凈空氣以0.45m/s±20%的風(fēng)速在整個出風(fēng)面勻速送出到棚內(nèi)。形成均流層,從而使得潔凈空氣的氣流呈垂直單向流,從而保證了潔凈室工作區(qū)內(nèi)所需要的潔凈度。
4、潔凈室內(nèi)的工作臺,工作桌等一些障礙物,在相接的地方經(jīng)常會發(fā)生渦流現(xiàn)象,相對而言在潔凈工作臺附近的潔凈度就會較差,襄陽潔凈棚,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,就能使渦流現(xiàn)象減少到;組裝材料的選擇合不合適,是否恰當(dāng)、設(shè)備的布局是否完善,都會成為氣流會不會變成渦流現(xiàn)象的重要因素。
除此之外,凈化棚氣流的影響因素有很多,照明燈具,生產(chǎn)設(shè)備上方的氣流分流點(diǎn)這些都是影響潔凈度的誘因。
潔凈棚的溫濕度控制非常重要,不合宜的溫濕度會影響潔凈效果。但是溫濕度的控制主要還是根據(jù)工藝要求來確定的,工藝性高也就代表著潔凈度越高。
濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,潔凈棚廠家,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢Ξa(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。
潔凈室的測試:打開蓋或解除肩帶罩讓開口只有18英寸。 使用遮光罩的通風(fēng)煙管、排放煙霧在這個開放。 這煙應(yīng)該看到立即被吸入內(nèi)部罩空間。不使用遮光罩如果煙被推,潔凈棚定制,流或外面徘徊開幕。
1、過濾器檢漏:對過濾器及其外框要進(jìn)行檢驗(yàn),以保證懸浮污染物不會穿過:損壞了的過濾器、過濾器與其外框間的縫隙、過濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。
2、各區(qū)之間的氣流控制:為證明各區(qū)之間氣流運(yùn)動方向正確,也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動,潔凈棚報(bào)價(jià),必須檢測:各區(qū)間的壓差正確、門口處或墻、地板等處的開口處氣流運(yùn)動方向正確,即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動。
3、懸浮粒子濃度和微生物濃度:如果上述這些測試滿足要求,則后對粒子濃度和微生物濃度(需要時)進(jìn)行測量,以便驗(yàn)明其符合設(shè)計(jì)的技術(shù)條件。
4、室內(nèi)氣流控制:氣流控制測試的類型要依氣流模式——是紊流還是單向流而定。若氣流為紊流,則必須驗(yàn)明室內(nèi)沒有氣流運(yùn)行不足的區(qū)域。若是單向流潔凈室,則必須驗(yàn)明整個室內(nèi)的風(fēng)速和風(fēng)向是符合設(shè)計(jì)要求的。
5、送風(fēng)量與排風(fēng)量:如果是紊流型,那么就要測量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流型,則要測量其風(fēng)速。
6、隔離檢漏:這項(xiàng)測試是為了證明懸浮污染物不穿過建筑材料侵入潔凈車間。
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