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光刻膠的性能
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光刻膠產品種類多、性強,是典型的技術密集型行業(yè)。不同用途的光刻膠曝光光源、反應機理、制造工藝、成膜特性、加工圖形線路的精度等性能要求不同,導致對于材料的感光性能、溶解性、耐蝕刻性、耐熱性等要求不同。因此每一類光刻膠使用的原料在化學結構、性能上都比較特殊,要求使用不同品質等級的光刻膠化學品。
光刻膠的作用有什么?
光刻是將圖形由掩膜版上轉移到硅片上,為后續(xù)的刻蝕步驟作準備。在光刻過程中,NR9 3000P光刻膠報價,需在硅片上涂一層光刻膠,NR9 3000P光刻膠,經紫外線曝光后,光刻膠的化學性質發(fā)生變化,在通過顯影后,被曝光的光刻膠將被去除,從而實現(xiàn)將電路圖形由掩膜版轉移到光刻膠上。再經過刻蝕過程,實現(xiàn)電路圖形由光刻膠轉移到硅片上。在刻蝕過程中,光刻膠起防腐蝕的保護作用。
為什么現(xiàn)在還有人使用負性膠
劃分光刻膠的一個基本的類別是它的極性。光刻膠在曝光之后,被浸入顯影溶液中。在顯影過程中,正性光刻膠曝過光的區(qū)域溶解得要快得多。理想情況下,未曝光的區(qū)域保持不變。負性光刻膠正好相反,在顯影劑中未曝光的區(qū)域將溶解,NR9 3000P光刻膠多少錢,而曝光的區(qū)域被保留。正性膠的分辨力往往是較好的,因此在IC制造中的應用更為普及,但MEMS系統(tǒng)中,由于加工要求相對較低,光刻膠需求量大,NR9 3000P光刻膠哪里有,負性膠仍有應用市場。
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