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光刻膠:用化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行圖像轉(zhuǎn)移的媒介
光刻膠具有光化學(xué)敏感性,其經(jīng)過曝光、顯影、刻蝕等工藝,可以將設(shè)計(jì)好的微細(xì)圖形從掩膜版轉(zhuǎn)移到待加工基片。
光刻膠和集成電路制造產(chǎn)業(yè)鏈的前端的即為光刻膠化學(xué)品,生產(chǎn)而得的不同類型的光刻膠被應(yīng)用于消費(fèi)電子、家用電器、信息通訊、汽車電子、航空航天等在內(nèi)的各個(gè)下游終端領(lǐng)域,需求較為分散。
光刻膠基于應(yīng)用領(lǐng)域不同一般可以分為半導(dǎo)體集成電路(IC)光刻膠、 PCB光刻膠以及LCD光刻膠三個(gè)大類。其中, PCB光刻膠占市場(chǎng)24.5%,半導(dǎo)體IC光刻膠占市場(chǎng)24.1%,LCD光刻膠占市場(chǎng)26.6%。
芯片光刻的流程詳解(一)
在集成電路的制造過程中,有一個(gè)重要的環(huán)節(jié)——光刻,正因?yàn)橛辛怂?,我們才能在微小的芯片上?shí)現(xiàn)功能?,F(xiàn)代刻劃技術(shù)可以追溯到190年以前,1822年法國(guó)人Nicephore niepce在各種材料光照實(shí)驗(yàn)以后,開始試圖復(fù)一種刻蝕在油紙上的印痕(圖案),他將油紙放在一塊玻璃片上,玻片上涂有溶解在植物油中的瀝青。經(jīng)過2、3小時(shí)的日曬,透光部分的瀝青明顯變硬,而不透光部分瀝青依然軟并可被松香和植物油的混合液洗掉。通過用強(qiáng)酸刻蝕玻璃板,Niepce在1827年制作了一個(gè)d’Amboise主教的雕板相的產(chǎn)品。
Niepce的發(fā)明100多年后,即第二次大戰(zhàn)期間才應(yīng)用于制作印刷電路板,負(fù)性光刻膠哪家好,即在塑料板上制作銅線路。到1961年光刻法被用于在Si上制作大量的微小晶體管,負(fù)性光刻膠,當(dāng)時(shí)分辨率5um,如今除可見光光刻之外,更出現(xiàn)了X-ray和荷電粒子刻劃等更高分辨率方法。
PCB
光刻膠
主要分為干膜光刻膠、濕膜光刻膠(又稱為抗蝕刻/線路油墨)、光成像阻焊油墨等。PCB 光刻膠技術(shù)壁壘相對(duì)較低,負(fù)性光刻膠供應(yīng)商,主要是中低端產(chǎn)品。
LCD
光刻膠
包含彩色濾光片用彩色光刻膠及黑色光刻膠、LCD 觸摸屏用光刻膠、TFT-LCD 正性光刻膠等產(chǎn)品。
彩色濾光片是LCD
實(shí)現(xiàn)彩色顯示的關(guān)鍵器件,占面板成本的14%~16%;在彩色濾光片中,負(fù)性光刻膠公司,彩色光刻膠和黑色光刻膠是材料,占其成本的27%左右,其中黑色光刻膠占彩色濾光片材料成本的6%~8%。
半導(dǎo)體光刻膠
包括g 線光刻膠、i 線光刻膠、KrF 光刻膠、ArF 光刻膠、聚酰YA光刻膠、掩膜板光刻膠等。
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