羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運動。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運行。由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，萊寶真空泵SV1200濾芯，可將羅茨泵串聯(lián)使用。

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。

但當轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時，由于排氣側(cè)氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然。當轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時，氣體排出泵外。

真空泵維修說明事項，泵的極限壓力是在真空計（麥氏真空計）測得的分壓強值，如用熱偶真空計、電阻真空計等全壓強計測，其真空值至少要低一個多數(shù)量級。泵抽除含氧過高、對金屬有腐蝕作用的、與真空泵油起化學反應的氣體或有機容劑等，請務必在被抽系統(tǒng)與真空泵之間串聯(lián)一相應的過濾器或干燥劑，以確保真空泵正常使用。為確保真空儀器真空后的，在真空泵與真空儀器之間必須裝置一閥門開關（真空儀器本身帶有開關的除外）

近年來， 受半導體制造、液晶注入、太陽能電池生產(chǎn)、電子器件等新興行業(yè)和薄膜制備、化工、制藥等傳統(tǒng)行業(yè)的帶動， 多級羅茨干泵作為裝備之一， 其研制和生產(chǎn)越來越受到重視。多級羅茨干泵滿足了IC 裝備制造業(yè)的工作溫度高、長期運轉(zhuǎn)穩(wěn)定、噪聲低、維護簡單、清潔無油等眾多要求， 是很有發(fā)展前景的一種干式真空泵。但是， 除了加工及裝配要求精度高、加工難度大、一次性投入昂貴等制約因素外， 其設計理論和制造工藝亟待提高， 尤其包括羅茨型線的改善、加工成本的降低、間隙的確定、泄漏量的計算、泵內(nèi)的熱力學分析、轉(zhuǎn)子表面涂層、噪聲振動等難點問題， 制約了多級羅茨干泵研制和生產(chǎn)。

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