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北京賽米萊德貿(mào)易有限公司供應(yīng)美國(guó)Futurrex新型lift-off光刻膠NR9-3000PY,NR9i-3000PY有下面的優(yōu)勢(shì): 1. 比較高的光刻速度,可以定制光刻速度來(lái)曝光產(chǎn)量 2. 比較高的分辨率和快的顯影時(shí)間 3. 根據(jù)曝光能量可以比較容易的調(diào)整側(cè)壁角度 4. 耐溫可以達(dá)到100攝氏度 5. 用RR5去膠液可以很容易的去膠 NR9-3000PY的制作和工藝是根據(jù)職業(yè)和環(huán)境的安全而設(shè)計(jì)。
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9,NR9 3000PY光刻膠,去膠:濕法去膠,用溶劑、用NONG硫酸。負(fù)膠,98%H2SO4 H2O2 膠=CO CO2 H2O,正膠:BIN酮,干法去膠(ash)氧氣加熱去膠O2 膠=CO CO2 H2O,等離子去膠Oxygenplasma ashing,NR9 3000PY光刻膠報(bào)價(jià),高頻電場(chǎng)O2---電離O- O , O 活性基與膠反應(yīng)CO2,CO, H2O, 光刻檢驗(yàn)
NR9-3000PY 相對(duì)于其他光刻膠具有如下優(yōu)勢(shì):
- 優(yōu)異的分辨率性能
- 快速地顯影
- 可以通過(guò)調(diào)節(jié)曝光能量很容易地調(diào)節(jié)倒梯形側(cè)壁的角度
- 耐受溫度100℃
- 室溫儲(chǔ)存保質(zhì)期長(zhǎng)達(dá)3 年
NR9-1000PY 0.7μm - 2.1μm
NR9-1500PY 1.1μm - 3.1μm
NR9-3000PY 2.1μm - 6.3μm
NR9-6000PY 5.0μm -
12.2μm
Resist Thickness
NR71-1000PY 0.7μm - 2.1μm
NR71-1500PY 1.1μm - 3.1μm
NR71-3000PY 2.1μm - 6.3μm
NR71-6000PY 5.0μm - 12.2μm
企業(yè): 北京賽米萊德貿(mào)易有限公司
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