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如何選購光刻膠?
光刻加工工藝中為了圖形轉移,NR9 3000PY光刻膠廠家,輻照必須作用在光刻膠上,通過改變光刻膠材料的性質,使得在完成光刻工藝后,光刻版圖形被在圓片的表面。而加工前,如何選用光刻膠在很大程度上已經決定了光刻的精度。盡管正性膠的分辨力是的,但實際應用中由于加工類型、加工要求、加工成本的考慮,需要對光刻膠進行合理的選擇。
劃分光刻膠的一個基本的類別是它的極性。光刻膠在曝光之后,NR9 3000PY光刻膠報價,被浸入顯影溶液中。在顯影過程中,正性光刻膠曝過光的區(qū)域溶解得要快得多。理想情況下,未曝光的區(qū)域保持不變。負性光刻膠正好相反,在顯影劑中未曝光的區(qū)域將溶解,而曝光的區(qū)域被保留。正性膠的分辨力往往是的,因此在IC制造中的應用更為普及,但MEMS系統(tǒng)中,由于加工要求相對較低,光刻膠需求量大,NR9 3000PY光刻膠哪家好,負性膠仍有應用市場。
光刻膠的概述
光刻膠也稱為光致抗蝕劑,是一種光敏材料,NR9 3000PY光刻膠,它受到光照后特性會發(fā)生改變。光刻膠主要用來將光刻掩膜版上的圖形轉移到晶圓片上。
光刻膠有正膠和負膠之分。正膠經過曝光后,受到光照的部分變得容易溶解,經過顯影后被溶解,只留下未受光照的部分形成圖形;而負膠卻恰恰相反,經過曝光后,受到光照的部分會變得不易溶解,經過顯影后,留下光照部分形成圖形。
負膠在光刻工藝上應用早,其工藝成本低、產量高,但由于它吸收顯影液后會膨脹,導致其分辨率(即光刻工藝中所能形成圖形)不如正膠,因此對于亞微米甚至更小尺寸的加工技術,主要使用正膠作為光刻膠。
光刻膠簡介
賽米萊德——光刻膠供應商,我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?/p>
光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一,特別是近年來大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展,更是大大促進了光刻膠的研究開發(fā)和應用。印刷工業(yè)是光刻膠應用的另一重要領域。1954 年由明斯克等人首先研究成功的就是用于印刷工業(yè)的,以后才用于電子工業(yè)。 [1] 光刻膠是一種有機化合物,它被紫外光曝光后,在顯影溶液中的溶解度會發(fā)生變化。硅片制造中所用的光刻膠以液態(tài)涂在硅片表面,而后被干燥成膠膜。
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