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光刻膠的組成
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樹脂( resin/polymer),光刻膠中不同材料的粘合劑,給與光刻膠的機械與化學(xué)性質(zhì)( 如粘附性、膠膜厚度、熱穩(wěn)定性等);感光劑,感光劑對光能發(fā)生光化學(xué)反應(yīng);溶劑(Solvent),保持光刻膠的液體狀態(tài),使之具有良好的流動性;添加劑( Additive ),用以改變光刻膠的某些特性,厚光刻膠報價,如改善光刻膠發(fā)生反射而添加染色劑等。負性光刻膠。樹脂是聚異戊二烯,玻璃光刻膠報價,一-種天然的橡膠;溶劑是;感光劑是一種經(jīng)過曝光后釋放出氮氣的光敏劑,產(chǎn)生的自由基在橡膠分子間形成交聯(lián)。從而變得不溶于顯影液。負性光刻膠在曝光區(qū)由溶劑引起泡漲;曝光時光刻膠容易與氮氣反應(yīng)而抑制交聯(lián)。
光刻膠分類
光刻膠按其形成圖形的極性可以分為:正性光刻膠和負性光刻膠。正膠指的是聚合物的長鏈分子因光照而截斷成短鏈分子;負膠指的是聚合物的短鏈分子因光照而交鏈長鏈分子。 短鏈分子聚合物可以被顯影液溶解掉,因此正膠的曝光部分被去掉,而負膠的曝光部分被保留。
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硅片模具加工如何選擇光刻膠呢?
注意事項:
①若腐蝕液為堿性,干光刻膠報價,則不宜用正性光刻膠;
②看光刻機型式,若是投影方式,用常規(guī)負膠時氮氣環(huán)境可能會有些問題
③負性膠價格成本低,光刻膠報價,正性膠較貴;
④工藝方面:負性膠能很好地獲得單根線,而正性膠可獲得孤立的洞和槽;
⑤健康方面:負性膠為有機溶液處理,不利于環(huán)境;正性膠屬于水溶液,對健康、環(huán)境無害。
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