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6,堅(jiān)膜
堅(jiān)膜也叫后烘,是為了去除由于顯影液的浸泡引起膠膜軟化、溶脹現(xiàn)象,能使膠膜附著能力增強(qiáng),康腐蝕能力提高。
堅(jiān)膜溫度通常情況高于前烘和曝光后烘烤的溫度 100-140度 10-30min
7,NR94 8000PY光刻膠價(jià)格,顯影檢驗(yàn)
光刻膠鉆蝕、圖像尺寸變化、套刻對(duì)準(zhǔn)不良、光刻膠膜損傷、線條是否齊、陡
小孔、小島。
NR9-3000PY 相對(duì)于其他光刻膠具有如下優(yōu)勢(shì): - 優(yōu)異的分辨率性能 - 快速地顯影 - 可以通過(guò)調(diào)節(jié)曝光能量很容易地調(diào)節(jié)倒梯形側(cè)壁的角度 - 耐受溫度100℃ - 室溫儲(chǔ)存保質(zhì)期長(zhǎng)達(dá)3 年
五、曝光
在這一步中,將使用特定波長(zhǎng)的光對(duì)覆蓋襯底的光刻膠進(jìn)行選擇性地照射。光刻膠中的感光劑會(huì)發(fā)生光化學(xué)反應(yīng),從而使正光刻膠被照射區(qū)域(感光區(qū)域)、負(fù)光刻膠未被照射的區(qū)域(非感光區(qū))化學(xué)成分發(fā)生變化。這些化學(xué)成分發(fā)生變化的區(qū)域,在下一步的能夠溶解于特定的顯影液中。
在接受光照后,正性光刻膠中的感光劑DQ會(huì)發(fā)生光化學(xué)反應(yīng),變?yōu)橐蚁┩?,NR94 8000PY光刻膠公司,并進(jìn)一步水解為茚并羧酸(Indene-Carboxylic-Acid, CA),羧酸在堿性溶劑中的溶解度比未感光部分的光刻膠高出約100倍,產(chǎn)生的羧酸同時(shí)還會(huì)促進(jìn)酚醛樹(shù)脂的溶解。利用感光與未感光光刻膠對(duì)堿性溶劑的不同溶解度,就可以進(jìn)行掩膜圖形的轉(zhuǎn)移。
曝光方法:
a、接觸式曝光(Contact Printing)掩膜板直接與光刻膠層接觸。
b、接近式曝光(Proximity Printing)掩膜板與光刻膠層的略微分開(kāi),大約為10~50μm。
c、投影式曝光(Projection Printing)。在掩膜板與光刻膠之間使用透鏡聚集光實(shí)現(xiàn)曝光。
d、步進(jìn)式曝光(Stepper)
光刻膠市場(chǎng)
我國(guó)光刻膠市場(chǎng)規(guī)模2015年已達(dá)51.7億元,同比增長(zhǎng)11%,高于國(guó)際市場(chǎng)增速,但占比仍不足15%,發(fā)展空間巨大。2015年我國(guó)光刻膠產(chǎn)量為9.75萬(wàn)噸,而需求量為10.12萬(wàn)噸,依照需求量及產(chǎn)量增速預(yù)計(jì),未來(lái)仍將保持供不應(yīng)求的局面。據(jù)智研咨詢(xún)估計(jì),得益于我國(guó)平面顯示和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,我國(guó)光刻膠市場(chǎng)需求,NR94 8000PY光刻膠,在2022年可能突破27.2萬(wàn)噸。在光刻膠生產(chǎn)種類(lèi)上,我國(guó)光刻膠廠商主要生產(chǎn)PCB光刻膠,而LCD光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠生產(chǎn)規(guī)模較小,相關(guān)光刻膠主要依賴(lài)進(jìn)口。放眼國(guó)際市場(chǎng),光刻膠也主要被美國(guó)Futurrex 的光刻膠、日本合成橡膠(JSR)、東京應(yīng)化(TOK)、住友化學(xué)、美國(guó)杜邦、德國(guó)巴斯夫等化工寡頭壟斷。
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