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氣體質(zhì)量流量控制器的零點漂移?
微小的零點漂移是不會影響傳感器的測量精度和數(shù)值的,但是如果是零點漂移較大或用戶在使用時,對零點漂移的數(shù)值有疑問,那么這時候如何解決漂移顯得非常重要。 熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計會有零點漂移情況,零點漂移也就是管道中已經(jīng)沒有介質(zhì)流動但質(zhì)量流量計仍顯示流量值。如果是零點出現(xiàn)大幅漂移,而且每次漂移差別很大,就需要檢查管道內(nèi)使用有大量的壓力或氣體殘留,需要打開各種閥門,全部排空氣體管路,氣體質(zhì)量控制器價格,防止設(shè)備或管路憋壓。
一般造成質(zhì)量流量計零點漂移的因素有許多,解決質(zhì)量流量計零漂問題,首先要定期進行零點檢查和調(diào)整,二是需要和工藝配合來解決。一般情況下,氣體質(zhì)量控制器哪家好,管道壓力變化造成介質(zhì)微量流動也會導(dǎo)致質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計的零點漂移,出現(xiàn)這種漂移時,要關(guān)閉流量控制器或流量計前段的電磁閥(流量控制器不能當做截止閥來使用),使管道內(nèi)處于完全零流狀態(tài)或在管道適當位置設(shè)置排氣口,消除管道內(nèi)的壓力和氣流,從而達到消除零點漂移。
氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇?
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。
通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等,氣體質(zhì)量控制器報價, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼、HF等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。
由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。
什么是氣體質(zhì)量流量控制器?
氣體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。
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