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2,涂膠,在硅片覆蓋,旋轉(zhuǎn),離心力,在硅片表面通過旋轉(zhuǎn)的光刻膠,工藝參數(shù)3000-6000rpm 膠膜厚0.5-1um,
3,前烘,通過在較高溫度下進(jìn)行烘焙,使存底表面涂覆的光刻膠膜的溶劑揮發(fā),溶劑將至5%左右,同時(shí)增強(qiáng)與襯底的粘附性。前烘方法:熱平板傳導(dǎo),NR9 3000PY光刻膠多少錢,干燥循環(huán)熱風(fēng)提高附著力,紅外線輻射。
烘箱前烘條件:90-100度,10-20min,前烘時(shí)間與溫度應(yīng)適當(dāng),NR9 3000PY光刻膠哪家好,如太長或溫度太高,光刻膠層變脆而附著力下降,而前烘不足會(huì)影響后面的顯影效果。
光刻膠市場
我國光刻膠市場規(guī)模2015年已達(dá)51.7億元,同比增長11%,高于國際市場增速,但占比仍不足15%,發(fā)展空間巨大。2015年我國光刻膠產(chǎn)量為9.75萬噸,而需求量為10.12萬噸,NR9 3000PY光刻膠公司,依照需求量及產(chǎn)量增速預(yù)計(jì),未來仍將保持供不應(yīng)求的局面。據(jù)智研咨詢估計(jì),得益于我國平面顯示和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,我國光刻膠市場需求,在2022年可能突破27.2萬噸。在光刻膠生產(chǎn)種類上,我國光刻膠廠商主要生產(chǎn)PCB光刻膠,而LCD光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠生產(chǎn)規(guī)模較小,相關(guān)光刻膠主要依賴進(jìn)口。放眼國際市場,光刻膠也主要被美國Futurrex 的光刻膠、日本合成橡膠(JSR)、東京應(yīng)化(TOK)、住友化學(xué)、美國杜邦、德國巴斯夫等化工寡頭壟斷。
光刻膠國內(nèi)研發(fā)現(xiàn)狀
“造成與國際水平差距的原因很多。過去由于我國在開始規(guī)劃發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)上,布局不合理、不完整,特別是生產(chǎn)加工環(huán)節(jié)的投資,而忽視了重要的基礎(chǔ)材料、裝備與應(yīng)用研究。目前,整個(gè)產(chǎn)業(yè)是中間加工環(huán)節(jié)強(qiáng),NR9 3000PY光刻膠,前后兩端弱,技術(shù)至今被TOK、JSR、住友化學(xué)、信越化學(xué)等日本企業(yè)所壟斷。
光刻膠的主要技術(shù)指標(biāo)有解析度、顯影時(shí)間、異物數(shù)量、附著力、阻抗等。每一項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)都很重要,必須全部指標(biāo)達(dá)到才能使用。因此,國外企業(yè)在配方、生產(chǎn)工藝技術(shù)等方面,對中國長期保密。中國的研發(fā)技術(shù)有待進(jìn)一步發(fā)展
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