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光刻膠底膜處理:清洗:清潔干燥,使硅片與光刻膠良好的接觸。烘干:去除襯底表面的水汽,使其干燥,增粘處理(涂底): 涂上增加光刻膠與硅片表面附著能力的化合物,HMDS,光刻膠疏水,NR9 8000光刻膠公司,Sio2 空氣中,Si-OH, 表面有,NR9 8000光刻膠廠家,親水性,使用HMDS (H2C)6Si2NH 涂覆,熏蒸 與 SI –OH結(jié)合形成Si-O-Si(CH2)2,與光刻膠相親。
美國Futurrex的光刻膠
北京賽米萊德貿(mào)易有限公司供應(yīng)美國Futurrex新型lift-off光刻膠NR9-3000PY,此款負(fù)膠的設(shè)計(jì)適用于比較寬的波長范圍和i線(366納米)曝光工具。當(dāng)顯影后顯示出負(fù)的側(cè)壁角度,是lift-off工藝中比較簡易的光刻膠。和其他膠相比NR9i-3000PY有下面的優(yōu)勢(shì): 1. 比較高的光刻速度,可以定制光刻速度來曝光產(chǎn)量 2. 比較高的分辨率和快的顯影時(shí)間 3. 根據(jù)曝光能量可以比較容易的調(diào)整側(cè)壁角度 4. 耐溫可以達(dá)到100攝氏度 5. 用RR5去膠液可以很容易的去膠 NR9-3000PY的制作和工藝是根據(jù)職業(yè)和環(huán)境的安全而設(shè)計(jì)。主要的溶劑是,NR9-3000PY的顯影在水溶液里完成。屬固含量(%):31-35 主要溶劑: 外觀: 淺液體涂敷能:均勻的無條紋涂敷 100攝氏度熱板烘烤300秒后膜厚涂敷自旋速度 40秒自旋。
30.想請(qǐng)教國產(chǎn)光刻膠不能達(dá)到膜厚要求,進(jìn)口的有沒有比較好的光刻膠?。?/p>
都可以?。oodpr是大陸比較多公司采用的,
但是Futurre 光刻膠在國外是比較有名氣的,包括很多大型企業(yè)都有用,膜厚做的也
比較厚從18um-200um都 可以做到,NR9 8000光刻膠哪里有,看你對(duì)工藝的要求了。
光刻膠品牌FUTURRE光刻膠產(chǎn)品屬性:
1 FUTURRE光刻膠產(chǎn)品簡要描述及優(yōu)勢(shì):
1.1 Futurre光刻膠黏附性好,無需使用增粘劑(HMDS)
1.2 負(fù)性光刻膠常溫下可保存3年
1.3 150度烘烤,NR9 8000光刻膠,縮短了烘烤時(shí)間
1.4 單次旋涂能夠達(dá)到100um膜厚
1.5 顯影速率快,100微米的膜厚,僅需6~8分鐘
企業(yè): 北京賽米萊德貿(mào)易有限公司
手機(jī): 15201255285
電話: 010-63332310
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