氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：原子能工業(yè)——氣體擴散處理系統(tǒng)；高能物理研究院——及其配件；常用的傳統(tǒng)氣體管道檢漏方法，如氣泡法和肥皂法在化工廠等有害氣體的管道檢漏不實用，檢測到微漏的氦質(zhì)譜檢漏儀成為了化工廠安全生產(chǎn)作業(yè)的保障。氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應性以及無破壞性，使其廣泛應用。

對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，電力行業(yè)檢漏廠商，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調(diào)到漏率（10-11Pa。m3/s），然后對氦罩沖氦。質(zhì)譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質(zhì)譜檢漏儀應在校驗后使用并在檢漏期間每1-2小時校驗。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達到一定真空度。

于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、 焊渣以及設(shè)備內(nèi)部的積水、污垢等都會使泄漏孔暫時阻塞而影響檢測結(jié)果，因此，測試前必須設(shè)備內(nèi)部清理干凈及焊縫表面并用熱風裝置將設(shè)備內(nèi)部干燥。氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應依照由下而上， 由近而遠的順序進行。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達到一定真空度。

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