電感壓力傳感器

　　電感式壓力傳感器的工作原理是由于磁性材料和磁導(dǎo)率不同，當(dāng)壓力作用于膜片時(shí)，氣隙大小發(fā)生改變，氣隙的改變影響線(xiàn)圈電感的變化，處理電路可以把這個(gè)電感的變化轉(zhuǎn)化成相應(yīng)的信號(hào)輸出，從而達(dá)到測(cè)量壓力的目的。該種壓力傳感器按磁路變化可以分為兩種：變磁阻和變磁導(dǎo)。電感式壓力傳感器的優(yōu)點(diǎn)在于靈敏度高、測(cè)量范圍大；缺點(diǎn)就是不能應(yīng)用于高頻動(dòng)態(tài)環(huán)境。

　　變磁阻式壓力傳感器主要部件是鐵芯跟膜片。它們跟之間的氣隙形成了一個(gè)磁路。當(dāng)有壓力作用時(shí)，VAR3-100AW壓力傳感器，氣隙大小改變，即磁阻發(fā)生了變化。如果在鐵芯線(xiàn)圈上加一定的電壓，電流會(huì)隨著氣隙的變化而變化，從而測(cè)出壓力。

　　在磁通密度高的場(chǎng)合，鐵磁材料的導(dǎo)磁率不穩(wěn)定，這種情況下可以采用變磁導(dǎo)式壓力傳感器測(cè)量。變磁導(dǎo)式壓力傳感器用一個(gè)可移動(dòng)的磁性元件代替鐵芯，壓力的變化導(dǎo)致磁性元件的移動(dòng)，從而磁導(dǎo)率發(fā)生改變，由此得出壓力值。

高溫大壓力傳感器研究現(xiàn)狀

一般地，當(dāng)壓力范圍在10～100 MPa之間時(shí)，稱(chēng)之為大壓力，大于100 MPa的壓力為超大壓力。高溫壓力傳感器是指在高于125℃環(huán)境下能正常工作的壓力傳感器[1]。

近年來(lái)，隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，微機(jī)械壓力傳感器由于其具有體積小、功耗低、成本低等優(yōu)勢(shì)，而得到了廣泛的應(yīng)用[1，2]。然而，該類(lèi)傳感器在超過(guò)120℃環(huán)境下使用時(shí)，會(huì)由于內(nèi)部PN結(jié)出現(xiàn)漏電而導(dǎo)致傳感器性能急劇下降，進(jìn)而導(dǎo)致失效[3，4，5，6]。因此，如何把MEMS技術(shù)的優(yōu)勢(shì)和現(xiàn)有的技術(shù)相結(jié)合，通過(guò)改進(jìn)工藝、選擇新型的耐高溫材料，進(jìn)而克服MEMS傳感器的上述缺點(diǎn)，成為目前國(guó)內(nèi)外研究的重中之重。該研究目前也取得了巨大進(jìn)展，多種類(lèi)型材料組合形成的新型敏感元件紛紛問(wèn)世。

動(dòng)態(tài)壓力傳感器的應(yīng)用

動(dòng)態(tài)壓力傳感器主要應(yīng)用在加速度、壓力和力等的測(cè)量中。壓電式加速度傳感器是一種常用的加速度計(jì)。它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、重量輕、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)異的特點(diǎn)。壓電式加速度傳感器在飛機(jī)、汽車(chē)、船舶、橋梁和建筑的振動(dòng)和沖擊測(cè)量中已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用，特別是航空和宇航領(lǐng)域中更有它的特殊地位。壓電式傳感器也可以用來(lái)測(cè)量發(fā)動(dòng)機(jī)內(nèi)部燃燒壓力的測(cè)量與真空度的測(cè)量。

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