不管采用哪種方法進(jìn)行混勻處理，必須用另一種的分析方法進(jìn)行檢驗(yàn)。在標(biāo)準(zhǔn)氣體研究階段，要考察所研究的標(biāo)準(zhǔn)氣體的均勻性，一般采用氣相色譜法在相同的操作條件下，進(jìn)行測(cè)定，以考察標(biāo)準(zhǔn)氣體的均勻性，通常用平均值的一致性檢驗(yàn)方法來(lái)判斷。由于均勻性是考察同一瓶標(biāo)準(zhǔn)氣體在制備完以后，多長(zhǎng)時(shí)間量值達(dá)到穩(wěn)定，邵陽(yáng)液氧，由有限次測(cè)定得到的平均值，在方法的不確定范圍內(nèi)應(yīng)該是不顯著的。如果差異是顯著的，這個(gè)因素就是標(biāo)準(zhǔn)氣體的不均勻性造成的。

    標(biāo)準(zhǔn)氣體充裝前，液氧價(jià)格，應(yīng)該對(duì)氣瓶嚴(yán)厲處理

    1、氣瓶是否過(guò)期、作廢，是否現(xiàn)已運(yùn)用；（如過(guò)期、作廢、未運(yùn)用不得充裝）

    2、檢查水壓記載

    3、瓶瓶身是否無(wú)缺；（如無(wú)顯著裂痕，凹陷或凸起不得充裝）

    4、是否有本單位的氣瓶信息化標(biāo)識(shí)（電子標(biāo)簽或二維條碼）；（如沒(méi)有，不得充裝）

    5、瓶閥是否損壞或漏氣；（如損壞或漏氣不得充裝）

    6、氣瓶保壓測(cè)驗(yàn)。（如氣瓶不保壓，不得充裝）

    氣瓶預(yù)處理 檢查合格的氣瓶，接入烘箱內(nèi)，進(jìn)行加熱抽空處理（一般為80℃，8小時(shí)），主要目的是為除去瓶?jī)?nèi)水分，完成后接入抽真空匯流排，用所需制造氣體的稀釋氣，對(duì)氣瓶進(jìn)行屢次沖刷及抽真空，去除瓶?jī)?nèi)其它氣體雜質(zhì)成分

    電子混合氣體和計(jì)量學(xué)上的標(biāo)準(zhǔn)氣體有許多相似的特點(diǎn)，但又有許多不同，電子混合氣體除了要保證其配制濃度的外，更需要?dú)怏w具有優(yōu)良的品質(zhì)，換言之，電子混合氣體必須要確?；旌虾玫臍怏w中含有的有害雜質(zhì)不能高于某值。在8in以上的IC生產(chǎn)線，液氧廠家，也應(yīng)對(duì)混合氣體中含有的顆粒物進(jìn)行控制和定值。

   1、電子混合氣體的氣瓶處理

   同其他氣體不同，對(duì)盛裝電子混合氣體的氣瓶的要求十分嚴(yán)格，液氧制備，否則，即便是混合氣體配制的準(zhǔn)確度再高，穩(wěn)定性再好也無(wú)法使用。

   首先混合氣體的氣瓶幾何尺雨如體積、直徑、瓶高度要滿(mǎn)足用戶(hù)要求。在半導(dǎo)體等領(lǐng)域，氣瓶通常安放在氣瓶柜內(nèi)使用，氣瓶柜的尺寸及連接的管閥件確定后，氣瓶的高矮胖瘦就不能隨心所欲了。對(duì)于不同種類(lèi)的混合氣在氣瓶色標(biāo)、警示標(biāo)志等方面國(guó)外已有極其詳細(xì)的標(biāo)準(zhǔn)，如美國(guó)的CGA、歐盟的ISO等，我們國(guó)家在此方面仍在認(rèn)識(shí)和完善中。

   2、電子混合氣體配制裝置技術(shù)要求

   同其他標(biāo)準(zhǔn)氣體制備不同的是，配制電子混合氣體的裝置似乎更為復(fù)雜，電子混合氣體配氣裝置所用的管路必須是EP級(jí)別，材質(zhì)為316L，精密壓力表或壓力傳感器精度優(yōu)于0.25級(jí)，材質(zhì)316L。為確保配制裝置不產(chǎn)生污染使用前要求系統(tǒng)。

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