無塵潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是潔凈室設(shè)計中受到關(guān)注的問題，隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級過濾器效率的提高等，對有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提 出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問題已在實踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進(jìn)，對是否采用 FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個熱點：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來，受到關(guān)注。以下對這些問題的情況分別作歸納和分析。

　 　無塵潔凈室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈室用途等具體情況而異，它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響。

凈化工程——潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，夾芯板，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，巖棉夾芯板，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。

潔凈廠房設(shè)計規(guī)范：潔凈廠房內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級的確定，應(yīng)符合下列要求：

一、潔凈室內(nèi)有多種工序時，不銹鋼夾芯板，應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求，鋁蜂窩夾芯板，采用不同的空氣潔凈度等級。

二、在滿足人生產(chǎn)工藝要求的前提下，潔凈室的氣流組級別，宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全 室空氣凈化相結(jié)合的形式。

1、層流潔凈室和亂流潔凈室以及運行班次和使用時間不同的潔凈室，其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開設(shè)置。P#iyQ9yYu5s_A

2、潔凈室內(nèi)的計算溫、溫度、應(yīng)符合下列規(guī)定：

（1）滿足生產(chǎn)工藝要求

（2）生產(chǎn)工藝無溫、濕度要求時，潔凈室溫度為20～26度，溫度70度。