廣州潽拓光電科技有限公司——Agilent分子泵維修保養(yǎng)

測試過程

試驗期間，渦輪泵以滿轉(zhuǎn)速持續(xù)運行。初始的磁場設置為 1mT ，泵在該磁場下運行 12 個小時以穩(wěn)定轉(zhuǎn)子溫度；然后關(guān)閉磁場，再運行 12 個小時以使轉(zhuǎn)子降溫；然后再分別把磁場設置為 2mT，按照前面的步驟繼續(xù)進行測試，直至磁場增加到 7mT 。

測試結(jié)果

當磁場逐步增加后，被測分子泵轉(zhuǎn)子的平衡溫度也隨之上升，當磁場強度為 7mT 時，平衡溫度上升到 100 攝氏度左右（安捷倫分子泵的允許溫度為 120 度）。

另外，KIT 使用該測試平臺測試了另一臺其它品牌的分子泵，一系列的對比測試表明，安捷倫分子泵在相同的磁場條件下轉(zhuǎn)子的平衡溫度明顯較低（ 5mT 時，低大約40度）。

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TwisTorr 404 FS 渦輪分子泵TwisTorr 404 FS 配備 DN100 法蘭，可提供 400 L/s 的抽速，對輕質(zhì)氣體可實現(xiàn)高壓縮比，還配備已注冊商標的安捷倫懸浮軸承技術(shù) (AFS)，確保低振動和低噪音，適用于各種敏感環(huán)境。TwisTorr 404 FS 的高壓縮比、高前級耐壓能力和免維護運行使其成為一種可靠、、低成本的分子泵。

404 FS 是 UHV 系統(tǒng)、核研究、離子注入器、表面分析、電子顯微鏡和低溫應用的選擇。該泵的智能控制器可根據(jù)系統(tǒng)需要自動優(yōu)化泵的性能。

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振動分析   在制造過程中以及泵運輸前的測試中，對每臺泵的振動頻譜進行驗證。全速下的平均大振動水平：0.4 m/s2。噪音測試   通過在以下 12 種不同運行狀態(tài)和方向下對一批泵進行一系列測試，來驗證泵噪音：垂直、水平和翻轉(zhuǎn)位置；高溫和低溫；全速和低速。在正常運行狀態(tài)下，168 次測量得到的平均噪音為 41 dB(A) /-3σ。包裝測試   通過對帶包裝的泵進行測試來驗證包裝性能，在測試時，使帶包裝的泵從 96 厘米/37.8 英寸的高度以各種角度跌落 18 次。裝有 TwisTorr 305 的包裝箱可承受 30 g 的加速度，以確保在運輸過程中不會因跌落或運輸而損壞。

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分子泵控制器 “3D” 控制軟件

早期的分子泵控制器又叫分子泵電源，其的功能是向分子泵供電；后來，改進型的控制器具備了一定的保護功能，可以監(jiān)控分子泵的功率和溫度，相當于為分子泵的工作狀態(tài)設置了一條紅線，分子泵只能在這條線以下工作（2D），若超過這條線控制器就會報警停機。

與 704FS 配合工作的安捷倫新一代分子泵控制器，變被動保護為主動調(diào)整，可以根據(jù)不同的工藝條件，自動調(diào)整輸出功率和轉(zhuǎn)速，使泵在保證自身安全的同時，始終工作在一個達到優(yōu)性能的曲面上（3D），達到佳的氣載量和壓縮比。同時因為避免了分子泵超負荷運行，可以延長其使用壽命。

與 704FS 同時發(fā)布的還有 804FS 和 404FS，加上之前的 84FS 和 304FS，形成了一個完整的系列。

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性能指標H2 壓縮比1.5 x 106前級管道法蘭尺寸KF 16 NW前級耐壓 — N212 mbar啟動時間< 3 min噪音水平41 dB(A)工作位置Any建議采用的前級泵容量7 m3/h抽速 — Ar250 L/s抽速 — H2220 L/s抽速 — He255 L/s抽速 — N2250 L/s氣體通量 — N2、水冷250 sccm極限真空<1 x 10-10 mbar標準和認證EN 61010-1

EN 61326-1

EN 1012-2

EN 12100

EN 50581

機械指令 2006/42/EC

電磁兼容性指令 2014/30/

EU 指令 2011/65/EU法蘭類型DN 100DN 160貯存環(huán)境溫度-40 至 70 °C運行環(huán)境溫度 5 to 35 °C重量5.84 kg額定轉(zhuǎn)速60 KRPM

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為了確認磁場對分子泵工作的影響，Agilent分子泵維修保養(yǎng)，德國卡爾斯魯厄理工學院（KIT）設計并執(zhí)行了下面的測試：

測試條件和裝置

被測分子泵的型號為 TwisTorr304 FS CFF6，使用一對亥姆霍茲線圈(直徑 120 厘米)來產(chǎn)生包圍整個泵的均勻磁場。

被測分子泵由一臺渦旋干泵作為前級，分子泵的進氣口壓力抽至 1E-3 mbar 以下（該壓力以下，熱對流幾乎為零，分子泵轉(zhuǎn)子的熱量僅可以通過輻射傳遞出去很小的一部分）。使用 20℃ 的冷卻水對分子泵持續(xù)進行冷卻；分子泵的控制器會自動調(diào)整電機電流，保持轉(zhuǎn)子以恒定轉(zhuǎn)速運行。使用安裝于分子泵口的紅外溫度計測量被測試分子泵的轉(zhuǎn)子溫度。使用連接到分子泵外殼的 PT100 熱電阻測量定子的溫度。

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