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光刻膠分類(lèi)
根據(jù)化學(xué)反應(yīng)機(jī)理和顯影原理的不同,光刻膠可以分為負(fù)性膠和正性膠。對(duì)某些溶劑可溶,但經(jīng)曝光后形成不可溶物質(zhì)的是負(fù)性膠;反之,對(duì)某些溶劑不可溶,經(jīng)曝光后變成可溶的為正性膠。
從需求端來(lái)看,光刻膠可分為半導(dǎo)體光刻膠、面板光刻膠和PCB光刻膠。其中,半導(dǎo)體光刻膠的技術(shù)壁壘較高。
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如何選擇光刻膠
光刻膠必須滿足幾個(gè)硬性指標(biāo)要求:高靈敏度,NR9 3000PY光刻膠廠家,高對(duì)比度,好的蝕刻阻抗性,高分辨力,易于處理,高純度,長(zhǎng)壽命周期,低溶解度,低成本和比較高的玻璃化轉(zhuǎn)換溫度(Tg)。主要的兩個(gè)性能是靈敏度和分辨力。大多數(shù)光刻膠是無(wú)定向的聚合體。當(dāng)溫度高于玻璃化轉(zhuǎn)換溫度,聚合體中相當(dāng)多的鏈條片以分子運(yùn)動(dòng)形式出現(xiàn),因此呈粘性流動(dòng)。當(dāng)溫度低于玻璃化轉(zhuǎn)換溫度,鏈條片段的分子運(yùn)動(dòng)停止,聚合體表現(xiàn)為玻璃而不是橡膠。當(dāng)Tg低于室溫,膠視為橡膠。當(dāng)Tg高于室溫,膠被視為玻璃。由于溫度高于Tg時(shí),聚合體流動(dòng)容易,于是加熱膠至它的玻璃轉(zhuǎn)化溫度一段時(shí)間進(jìn)行退火處理,可達(dá)到更穩(wěn)定的能量狀態(tài)。在橡膠狀態(tài),溶劑可以容易從聚合體中去除,如軟烘培膠工藝。但此時(shí)膠的工作環(huán)境需要格外關(guān)注,當(dāng)軟化膠溫度大于Tg時(shí),它容易除去溶劑,但也容易混入各種雜質(zhì)。一般來(lái)說(shuō),NR9 3000PY光刻膠多少錢(qián),結(jié)晶的聚合體不會(huì)用來(lái)作為膠,NR9 3000PY光刻膠,因?yàn)榻Y(jié)晶片的構(gòu)成阻止均一的各向同性的薄膜的形成。
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光刻膠概況
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光刻膠又稱(chēng)光致抗蝕劑,NR9 3000PY光刻膠價(jià)格,是光刻工藝的關(guān)鍵化學(xué)品,主要利用光化學(xué)反應(yīng)將所需要的微細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移到待加工基片上,被廣泛應(yīng)用于光電信息產(chǎn)業(yè)的微細(xì)圖形線路的加工制作,下游主要用于集成電路、面板和分立器件的微細(xì)加工,同時(shí)在 LED、光伏、磁頭及精密傳感器等制作過(guò)程中也有廣泛應(yīng)用,是微細(xì)加工技術(shù)的關(guān)鍵性材料。光刻膠的主要成分為樹(shù)脂、單體、光引發(fā)劑及添加助劑四類(lèi)。其中,樹(shù)脂約占 50%,單體約占35%,光引發(fā)劑及添加助劑約占15%。
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