電子束鍍膜機電源柜的操作

1. 總電源

2. 同時開電子控制Ⅰ和電子控制Ⅱ電源：按電子控制Ⅰ電源、延遲開關(guān)、電源及保護燈亮，分子束外延設(shè)備哪家好，三分鐘后延遲 及保護燈滅，若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護燈會常亮。

3. 開高壓，高壓會達到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動。

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電子束原理介紹

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司生產(chǎn)、銷售電子束產(chǎn)品，我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。

電子在電場中會受力而得到加速、提高能量，產(chǎn)生電子束。電子束焊原理一臺電子增速器，注入的電子能量為20GeV（1GeV=109 eV，也就是10億電子伏特），相應(yīng)的電子速度為0.99999999979倍光速。電子經(jīng)增速器加速后，能量可達到100GeV，電子速度達到0.999999999987倍的光速。這說明，分子束外延設(shè)備，電子在這臺增速器里速度幾乎沒有增加，而能量增加了4倍。

DZS800型電子束鍍膜設(shè)備

主要用途：　　

用于制備導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜等，批量生產(chǎn)型。

系統(tǒng)組成:　　

系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子、熱蒸發(fā)電極、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測量、計算機系統(tǒng)及安裝機臺等部分組成?！　?/p>

技術(shù)指標(biāo)：　　

極限真空度：≤6.7×10 Pa　　恢復(fù)真空時間：從1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min　　

系統(tǒng)漏率：6. 7×10-7Pa.L/S；　　

真空室：真空室1200x9000 x800mm采用U型箱體前開門，后置抽氣系統(tǒng)　　

e型電子：陽極電壓：10kv(2套)　　坩堝：水冷式坩堝，24穴設(shè)計，分子束外延設(shè)備報價，每個容量11ml　　

功率：0-10KW可調(diào)　　電阻蒸發(fā)源(可選)　　

基片尺寸：可放置4″基片一次更換20個樣品　　

樣品臺：基片可連續(xù)回轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速5-60轉(zhuǎn)/分基片與蒸發(fā)源之間距離350mm加熱溫度 400°C±1°C　　

氣路系統(tǒng)：質(zhì)量流量控制器1路　　

石英晶振膜厚控制儀：監(jiān)測膜厚顯圍：0-99μ9999?

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——電子束產(chǎn)品供應(yīng)商，我們?yōu)槟鷰硪陨闲畔ⅰ?/p>

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