電子束蒸發(fā)鍍膜機技術特點介紹

采用了超高真空密封技術，分子束外延設備，極限真空度高，蒸發(fā)室可進入10-5Pa量級（≤5×10-5Pa電子靜止狀態(tài)），可保證更高的鍍膜純凈度，提高鍍膜質量。

超高真空密封主要采用如下技術：玻璃金屬焊接技術、陶瓷金屬焊接技術、刀口無氧銅金屬密封技術等，整機主要采用金屬密封技術，前開門用氟膠圈，真空管路用不銹鋼金屬波紋管路（不用橡膠管路），采用高真空閥門。

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電子束蒸發(fā)鍍膜機產品介紹

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產品配置：

★樣片數(shù)量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架（用戶定制）

★蒸發(fā)材料：金屬；非金屬；化合物等薄膜材料。

★蒸發(fā)腔體：高真空系統(tǒng)。

★蒸發(fā)不均勻性：≤±3%-±5％

★工件架：可旋轉，分子束外延設備價格，轉速可調

★加熱：常規(guī)加熱

★電子：E型，帶XY偏轉掃描

★電子坩堝：6穴，17cc

★膜厚監(jiān)控功能：石英晶控膜厚在線監(jiān)測與終點控制

★清洗功能：可選配離子源清洗

★器件一次成型復合實驗系統(tǒng)：通過復合mask系統(tǒng)與樣品對準系統(tǒng)，一次完成器件的多個工藝步驟

★檢測與控制光學特性的功能：可選配光控儀

★操作模式：全自動 半自動控制

電子束鍍膜機部件介紹

鍍膜室：

采用立式、前開門結構，外壁通冷卻水。鍍膜室尺寸Φ450×H600 mm。在腔室內壁上安裝有可拆卸的內襯防護擋板一塊（材質：304真空不銹鋼， 厚度≥1 mm），分子束外延設備廠家，鍍膜室及前開門材質：304真空不銹鋼，鍍膜室所有焊縫連接均采用弧焊自動焊接技術；焊接完成后，鍍膜室（包括抽氣管道、連接法蘭等）均進行內表面拋光，外表面噴砂、噴丸、電拋三項處理，以減少出氣量。

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