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電子束平版印刷術(shù)是一種分辨率小于一毫米的蝕刻半導(dǎo)體的方法。這種技術(shù)的缺點(diǎn)是成本高昂、程序緩慢、必須操作于真空內(nèi)、還有，電子束在固體內(nèi)很快就會(huì)散開，很難維持聚焦。這缺點(diǎn)限制住分辨率不能小于10nm。因此，電子束平版印刷術(shù)主要是用來(lái)制備少數(shù)量特別的集成電路。

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2000年，集成電路問(wèn)世42年以后，人們終于了解到他和他的發(fā)明的價(jià)值，他被授予了諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。諾貝爾獎(jiǎng)評(píng)審曾經(jīng)這樣評(píng)價(jià)基爾比：“為現(xiàn)代信息技術(shù)奠定了基礎(chǔ)”。1959年，仙童半導(dǎo)體公司的羅伯特·羅伊斯申請(qǐng)了更為復(fù)雜的硅集成電路，并馬上投入了商業(yè)領(lǐng)域。但基爾比首先申請(qǐng)了，因此，羅伊斯被認(rèn)為是集成電路的共同發(fā)明人。羅伊斯于1990年去世，與諾貝爾獎(jiǎng)擦肩而過(guò)。杰克·基爾比相當(dāng)謙遜，他一生擁有六十多項(xiàng)，但在獲獎(jiǎng)發(fā)言中，他說(shuō)：“我的工作可能引入了看待電路部件的一種新角度，并了一個(gè)新領(lǐng)域，自此以后的多數(shù)成果和我的工作并無(wú)直接聯(lián)系?！?[3]

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電子（electron）是帶負(fù)電的亞原子粒子。它可以是自由的（不屬于任何原子），也可以被原子核束縛。原子中的電子在各種各樣的半徑和描述能量級(jí)別的球形殼里存在。球形殼越大，包含在電子里的能量越高。在電導(dǎo)體中，電流由電子在原子間的獨(dú)立運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生，并通常從電極的陰極到陽(yáng)極。在半導(dǎo)體材料中，電流也是由運(yùn)動(dòng)的電子產(chǎn)生的。

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