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直流磁控濺射技術(shù)的原理
沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——生產(chǎn)、銷(xiāo)售磁控濺射產(chǎn)品,我們公司堅(jiān)持用戶(hù)為上帝,想用戶(hù)之所想,急用戶(hù)之所急,以誠(chéng)為本,講求信譽(yù),以產(chǎn)品求發(fā)展,以質(zhì)量求生存,我們熱誠(chéng)地歡迎各位同仁合作共創(chuàng)輝煌。
直流磁控濺射技術(shù)其原理是:在磁控濺射中,由于運(yùn)動(dòng)電子在磁場(chǎng)中受到洛侖茲力,它們的運(yùn)動(dòng)軌跡會(huì)發(fā)生彎曲甚至產(chǎn)生螺旋運(yùn)動(dòng),其運(yùn)動(dòng)路徑變長(zhǎng),因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數(shù),使等離子體密度增大,從而磁控濺射速率得到很大的提高,而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作,多靶磁控濺射儀報(bào)價(jià),降低薄膜污染的傾向;另一方面也提高了入射到襯底表面的原子的能量,多靶磁控濺射儀多少錢(qián),因而可以在很大程度上改善薄膜的質(zhì)量。同時(shí),多靶磁控濺射儀價(jià)格,經(jīng)過(guò)多次碰撞而喪失能量的電子到達(dá)陽(yáng)極時(shí),已變成低能電子,多靶磁控濺射儀,從而不會(huì)使基片過(guò)熱。因此磁控濺射法具有“高速”、“低溫”的優(yōu)點(diǎn)。
光纖磁控濺射鍍膜機(jī)組成
以下內(nèi)容由沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供,希望對(duì)同行業(yè)的朋友有所幫助。
設(shè)備用途:
在光纖表面鍍制納米級(jí)單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備。配有陽(yáng)極層離子源進(jìn)行清洗和輔助沉積,同時(shí)設(shè)備具有反濺射清洗功能,以提高膜的質(zhì)量和牢固度。樣品臺(tái)可鍍制多種型號(hào)光纖產(chǎn)品
系統(tǒng)主要由真空室、磁控靶、單基片加熱臺(tái)、直流電源、射頻電源、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。
自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)有哪些特點(diǎn)?
沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司生產(chǎn)、銷(xiāo)售磁控濺射產(chǎn)品,我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。
自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):
不銹鋼腔體
晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
帶觀(guān)察視窗的腔門(mén)易于上下的載片
基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)控制
帶密碼保護(hù)功能的多級(jí)訪(fǎng)問(wèn)控制
完全的安全聯(lián)鎖功能
預(yù)真空鎖以及自動(dòng)晶圓片上/下的載片
企業(yè): 沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司
手機(jī): 13898863716
電話(huà): 024-88427871
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