質(zhì)譜儀以離子源、質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器為。離子源是使試樣分子在高真空條件下離子化的裝置。質(zhì)譜儀能用高能電子流等轟擊樣品分子，使該分子失去電子變?yōu)閹д姾傻姆肿与x子和碎片離子。這些不同離子具有不同的質(zhì)量，質(zhì)量不同的離子在磁場(chǎng)的作用下到達(dá)檢測(cè)器的時(shí)間不同，其結(jié)果為質(zhì)譜圖。質(zhì)譜儀的日常維護(hù)，清洗離子源，離子源污染會(huì)造成重現(xiàn)性不良，應(yīng)及時(shí)清洗離子源。進(jìn)行離子源操作時(shí)需要戴清潔的手套。

由于質(zhì)譜儀具有直接測(cè)量的本質(zhì)特征，以及高分辨、高靈敏、大通量和高準(zhǔn)確度的特性，在生命科學(xué)、材料科學(xué)、食品安全、環(huán)境監(jiān)測(cè)、醫(yī)院衛(wèi)生、國(guó)家安全及國(guó)際反恐等領(lǐng)域具有的作用和舉足輕重的地位?；鸹ㄔ促|(zhì)譜儀不僅可以進(jìn)行固體樣品的整體分析，質(zhì)譜儀多少錢(qián)，而且可以進(jìn)行表面和逐層分析甚至液體分析；激光探針質(zhì)譜儀可進(jìn)行表面和縱深分析；輝光放電質(zhì)譜儀分辨率高，可進(jìn)行高靈敏度，高精度分析。同位素質(zhì)譜分析法的特點(diǎn)是測(cè)試速度快，結(jié)果，樣品用量少（微克量級(jí)）。能測(cè)定元素的同位素比值。廣泛用于核科學(xué)，地質(zhì)年代測(cè)定，同位素稀釋質(zhì)譜分析，同位素示蹤分析。

 質(zhì)譜儀的日常維護(hù)，管路的氣密性也同樣重要。在停止真空、關(guān)閉工作站和主機(jī)電源后，打開(kāi)鋼瓶總閥，調(diào)節(jié)減壓閥使分壓表刻度到700KPa，然后擰緊鋼瓶總閥，并完全松開(kāi)減壓閥，此時(shí)記錄總壓表以及分壓表的刻度值。質(zhì)譜儀具有很高的靈敏度和分辨率，在定性和定量方面有很有優(yōu)勢(shì)，所以現(xiàn)在配置質(zhì)譜儀的實(shí)驗(yàn)室越來(lái)越多。  相對(duì)色譜儀來(lái)說(shuō)，質(zhì)譜儀除了對(duì)環(huán)境的要求更高，操作和維護(hù)也更加繁瑣。真空泵維修必須由接受過(guò)適當(dāng)培訓(xùn)的技術(shù)員來(lái)維護(hù)，確認(rèn)該技術(shù)員對(duì)泵油及系統(tǒng)的產(chǎn)物十分熟悉，做維護(hù)之前必須將泵停下，降到安全的溫度，斷開(kāi)泵及其他元件與電路的連接，以避免發(fā)生意外。

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