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怎樣對無塵潔凈室中的溫濕度進行控制？

??潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清除。相對濕度越高，粘附的越難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)較佳濕度范圍為35—45%。

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為什么無塵車間的潔凈度不達標？

1、用低檔產(chǎn)品替代產(chǎn)品

　　無塵車間所要求的潔凈度不同，恒溫恒濕凈化車間工程，那么選擇的裝修材料也不同，對于潔凈度較高的無塵車間如果選用低檔材料，肯定也達不到規(guī)定的潔凈度等級，尤其是過濾器的選擇，根據(jù)潔凈度等級，恒溫恒濕車間設計方案，選擇合適的過濾器。

2、送風管或過濾器密封不好

　　如果施工不規(guī)范或比較粗糙時，東莞無塵車間驗收時會出現(xiàn)局部不符合潔凈度等級，通常是風管和過濾器的問題，風管和過濾器出現(xiàn)泄漏，需要的找到泄露處，進行密封。

3、回風管道或回風口設計、調(diào)試不好

　　回風口的高度會影響潔凈度，如果不是高度或設計的問題，需要做好調(diào)試，減少回風口的阻力，回風量需要大于送風量。

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無塵潔凈廠房內(nèi)如何進行防火設計？

??1.設計好廠房的平面布置

??在廠房建設之前，應由設計單位、建設單位、使用單位、設備安裝或供應單位對廠房內(nèi)部布置先期進行論證。首先應考慮將的工藝或設備間盡可能布置于廠房外或與廠房貼鄰，恒溫恒濕車間設計施工，如有困難或工藝需要必須布置于廠房內(nèi)的，應靠外墻設置并與廠房的其他功能區(qū)用實體墻分隔，以便于采取防火防爆措施。其次，將裝配車間、包裝車間等人員密集部位靠近外墻，并確保有一長邊是廠房的外墻，一方面便于開設緊急疏散出口，另一方面利于事故時的排煙和救援。

??2.建筑構件及內(nèi)裝修

??建筑應盡可能地采用磚混結構，如用鋼結構時，其廠房各構件耐火極限應能達到二級耐火等級的要求。廠房的保溫材料應盡可能選用不燃或難燃材料，并盡量避免采用泡沫塑料、橡膠或其他多孔的有機高分子材料。對于廠房的內(nèi)部裝修，廣州恒溫恒濕車間，因為其構造上的封閉性和疏散、排煙上的不利性，與地下民用建筑火災危險性等級相近，所以其各部位的裝修要求宜按《建筑內(nèi)部裝修設計防火規(guī)范》中地下民用建筑的要求執(zhí)行。

??3.廠房內(nèi)的疏散設計

??廠房內(nèi)部的疏散通道應力求簡捷，避免迷宮式、門中門的布置法。對于廠房的出入口設計，出入路線盡可能筆直。如特殊工藝需要，出入口不能滿足人員疏散時，應將疏散通道局部靠外墻，在局部靠外墻處用封閉鋼化玻璃門作為緊急疏散出口，并在固定玻璃門處設安全出口燈和擊碎玻璃用的橡皮錘。通道上疏散指示標志宜選用燈光疏散指示標志，其設置部位要根據(jù)潔凈廠房特殊的通風排煙形式而定。一般的潔凈廠房通風排煙大多為上送下回形式，所以設置部位宜考慮采用上部和下部穿插設置。

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