勻膠機(jī)簡(jiǎn)單介紹

送片盒中的晶片，數(shù)轉(zhuǎn)膠存檔機(jī)多少錢，自動(dòng)送到承片臺(tái)上，用真空吸附，在主軸電機(jī)的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速100-9900轉(zhuǎn)/分(±10轉(zhuǎn)/分)，起動(dòng)加速度可調(diào)。

每道程序的持續(xù)時(shí)間，轉(zhuǎn)速、加速度、烘烤溫度、烘烤時(shí)間、預(yù)烘時(shí)間等工藝參數(shù)均可通過編程控制。

勻膠機(jī)有一個(gè)或多個(gè)滴膠系統(tǒng)，可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉(zhuǎn)滴膠。隨著晶片尺寸的增大，出現(xiàn)了多點(diǎn)滴膠或膠口移動(dòng)式滴膠。

膠膜厚度一般在500-1000nm，數(shù)轉(zhuǎn)膠存檔機(jī)價(jià)格，同一晶片和片與片間的誤差小于±5nm。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種，并有流量計(jì)進(jìn)行恒量控制。對(duì)涂過膠的晶片有上下刮邊功能，去掉晶片正反面多余的光刻膠。

烘烤工位，有隧道式遠(yuǎn)紅外加熱，微波快速加熱以及電阻加熱的熱板爐等。涂膠后的晶片要按一定的升溫速率進(jìn)行烘干。烘烤過程在密封的爐子中進(jìn)行，通過抽真空排除揮發(fā)出來的有害物質(zhì)。前烘結(jié)束后，將晶片送入收片盒內(nèi)。

主軸轉(zhuǎn)速的穩(wěn)定性和重復(fù)性是決定膠膜厚度均勻性和一致性的關(guān)鍵，起動(dòng)加速度的大小是決定是否能將不同粘稠度的光刻膠甩開并使膠均勻的決定因素。

存檔原理詳細(xì)介紹

鏡頭是把掃描信息傳送到CCD處理的一關(guān)，數(shù)轉(zhuǎn)膠存檔機(jī)，它的好壞決定著掃描儀的精度。掃描精度即是指掃描儀的光學(xué)分辨率，主要是由鏡頭的質(zhì)量和CCD的數(shù)量決定。由于受制造工藝的限制，目前普通掃描頭的高分辨率為20000像素，應(yīng)用在A4幅面的掃描儀上，可實(shí)現(xiàn)2400dpi的掃描精度，這樣的精度能夠滿足多數(shù)領(lǐng)域的需求。

真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造

真空泵一定要無油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實(shí)在不敢恭維。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿溃绻婵瘴搅档?，?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。用過國(guó)產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會(huì)關(guān)心怎么清洗的問題，這一點(diǎn)許多國(guó)外的勻膠機(jī)做得不錯(cuò)，他們有通過聯(lián)動(dòng)機(jī)制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會(huì)開始旋轉(zhuǎn)。

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