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光刻膠分類
根據(jù)化學反應機理和顯影原理的不同,光刻膠可以分為負性膠和正性膠。對某些溶劑可溶,但經(jīng)曝光后形成不可溶物質(zhì)的是負性膠;反之,對某些溶劑不可溶,經(jīng)曝光后變成可溶的為正性膠。
從需求端來看,光刻膠可分為半導體光刻膠、面板光刻膠和PCB光刻膠。其中,半導體光刻膠的技術(shù)壁壘較高。
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光刻膠概況
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光刻膠又稱光致抗蝕劑,是光刻工藝的關(guān)鍵化學品,NR74g 6000PY光刻膠多少錢,主要利用光化學反應將所需要的微細圖形從掩模版轉(zhuǎn)移到待加工基片上,被廣泛應用于光電信息產(chǎn)業(yè)的微細圖形線路的加工制作,下游主要用于集成電路、面板和分立器件的微細加工,同時在 LED、光伏、磁頭及精密傳感器等制作過程中也有廣泛應用,是微細加工技術(shù)的關(guān)鍵性材料。光刻膠的主要成分為樹脂、單體、光引發(fā)劑及添加助劑四類。其中,樹脂約占 50%,單體約占35%,光引發(fā)劑及添加助劑約占15%。
光刻膠工藝
主要用于半導體圖形化工藝,是半導體制造過程中的重要步驟。光刻工藝利用化學反應原理把事先制備在掩模上的圖形轉(zhuǎn)印到晶圓,完成工藝的設備光刻機和光刻膠都是占半導體芯片工廠資產(chǎn)的大頭。
在目前比較主流的半導體制造工藝中,NR74g 6000PY光刻膠報價,一般需要40 步以上獨立的光刻步驟,貫穿了半導體制造的整個流程,NR74g 6000PY光刻膠哪家好,光刻工藝的先進程度決定了半導體制造工藝的先進程度。光刻過程中所用到的光刻機是半導體制造中的設備。目前,ASML 的NXE3400B售價在一億歐元以上,媲美一架F35 戰(zhàn)斗機。
按曝光波長,光刻膠可分為紫外(300~450 nm)光刻膠、深紫外(160~280 nm)光刻膠、極紫外(EUV,13.5 nm)光刻膠、電子束光刻膠、離子束光刻膠、X射線光刻膠等。按照應用領(lǐng)域的不同,光刻膠又可以分為印刷電路板(PCB)用光刻膠、液晶顯示(LCD)用光刻膠、半導體用光刻膠和其他用途光刻膠。PCB光刻膠技術(shù)壁壘相對其他兩類較低,而半導體光刻膠代表著光刻膠技術(shù)先進水平。
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