電子束蒸發(fā)鍍膜機的系統(tǒng)裝置介紹

1、系統(tǒng)自動監(jiān)控和保護功能強，包括斷水報警、相序檢測與保護、溫度檢測與保護、真空系統(tǒng)檢測與保護等。

2、分子篩吸附裝置，避免機械泵返油造成膜層污染，提高薄膜純凈度。

3、膜厚監(jiān)測及控制系統(tǒng)，可在線監(jiān)測及控制膜層厚度，膜厚儀與基片擋板聯(lián)動，形成閉環(huán)控制。采用晶振膜厚儀

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電子束結(jié)構(gòu)介紹

粒子增速器的結(jié)構(gòu)可以與顯像管類比。顯像管中的電子對應于增速器的電子或離子源，顯像管中加速電子用的高壓電極對應于增速器中的高壓加速電極及加速腔。顯像管中控制電子運動的電偏轉(zhuǎn)板與聚焦電子的聚焦線圈，對應于增速器中控制粒子運動軌道和聚焦粒子束流的多種電磁部件，如導向磁鐵、聚焦磁鐵、多極校正磁鐵等。對粒子增速器的粒子運行管道來說，為了減少粒子在運動中與殘余氣體碰撞而造成粒子的丟失和束流性能變壞，激光分子束外延設備報價，所要求的真空度比顯像管要高數(shù)千到數(shù)萬倍。隨著科學技術(shù)的不斷發(fā)展，激光分子束外延設備哪家好，根據(jù)科學家對粒子能量和流強的不同要求，陸續(xù)產(chǎn)生了不同原理、不同結(jié)構(gòu)的多種增速器。

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電子束蒸發(fā)鍍膜機各部件介紹

1、烘烤照明系統(tǒng)1套。烘烤溫度：室溫-150℃。（在10-4Pa時，真空室內(nèi)殘余氣體的組合，水蒸汽約占 90%以上，因此在該壓強下進行蒸鍍，實際上相當于在水蒸汽中制膜，為了減少水份，提高真空室溫，使水分解，是提高膜層質(zhì)量的一種可行辦法）。

2、電控柜：標準電控柜，激光分子束外延設備價格，組裝總控制電源、真空系統(tǒng)控制（分子泵、機械泵電源、擋板等）、數(shù)顯真空計等。柜底下配腳輪，激光分子束外延設備，方便移動、定位。

3、手動按鈕式操作，備留機電轉(zhuǎn)換及控制接口，方便實驗記錄.

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