電子束蒸鍍系統(tǒng)的特點(diǎn)

* 渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵

* pocket電子

* 電子束源和基片遮板

* 性能好的開關(guān)電源，杰出的消弧性能

* 自動Pocket索引以及可編程的掃描控制器

* 膜厚監(jiān)測，可設(shè)置目標(biāo)膜厚作為工藝終點(diǎn)條件

* 旋轉(zhuǎn)樣品臺，提供高均勻性

* 帶觀察視窗的腔門，便于放片/取片

* PC全自動控制，分子束外延設(shè)備公司，具有高度的可重復(fù)性

* Labview軟件的計(jì)算機(jī)全自動工藝控制控

* 多級密碼保護(hù)的授權(quán)訪問設(shè)計(jì)

* EMO保護(hù)以及完全的安全聯(lián)鎖

以上就是為大家介紹的全部內(nèi)容，希望對大家有所幫助。如果您想要了解更多電子束的知識，歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的技術(shù)特點(diǎn)

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司生產(chǎn)、銷售電子束產(chǎn)品，以下信息由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供。

1、樣品臺：水冷樣品座，分子束外延設(shè)備，樣品座高度可調(diào)，便于調(diào)整蒸距。調(diào)節(jié)范圍：樣品臺與基片的可調(diào)節(jié)范圍300mm.

2、電子：電子功率6kW可調(diào)（滿足金屬、絕緣材料高速蒸發(fā)）4穴水冷坩堝（適用于對多種材料進(jìn)行蒸發(fā)鍍制多層膜且膜層較薄工藝中應(yīng)用效果好）。為保持E型電子蒸發(fā)絕緣穩(wěn)定性，配制束流掃描控制器，具有多種供控制程序進(jìn)行選擇的預(yù)設(shè)模式，方便于操作、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)積累。配套相應(yīng)蒸發(fā)坩堝內(nèi)襯，以適應(yīng)不同材料，確保蒸發(fā)速率穩(wěn)定性，重復(fù)性.

電子束鍍膜的濺射方式

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濺射方式是用高速正離子轟擊靶材表面，通過動能傳輸，令靶材的分子（原子）有足夠的能量從靶材表面逸出，在產(chǎn)品表面凝聚形成薄膜。

用濺射的方法制鍍的薄膜附著性強(qiáng)，薄膜的純度高，可以同時濺射多種不同成分的材料，但是對靶材的要求高，不能象電子一樣節(jié)約資源。

目前運(yùn)用較多的有磁控濺射，分子束外延設(shè)備報(bào)價，磁控濺射是指平行于陰極表面施加強(qiáng)電場，將電子約束在陰極靶材表面附近，提高電離效率。它是操作比較簡單的一種，所以運(yùn)用非常廣。

分子束外延設(shè)備公司-沈陽鵬程-分子束外延設(shè)備由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司提供。沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司堅(jiān)持“以人為本”的企業(yè)理念，擁有一支高素質(zhì)的員工隊(duì)伍，力求提供更好的產(chǎn)品和服務(wù)回饋社會，并歡迎廣大新老客戶光臨惠顧，真誠合作、共創(chuàng)美好未來。沈陽鵬程——您可信賴的朋友，公司地址：沈陽市沈河區(qū)凌云街35號，聯(lián)系人：董順。