氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有四種類型：吸附泵，吸氣劑泵，吸氣劑離子泵，低溫泵。常用國產(chǎn)真空泵的漢語拼音代號及名稱W 往復(fù)真空泵 Z 油擴(kuò)散噴射泵（油增壓泵）D 定片真空泵 S 升華泵X 旋片真空泵 LF 復(fù)合式離子泵，H 滑閥真空泵 GL 鋯鋁吸氣劑泵ZJ 羅茨真空泵（機(jī)械增壓泵） DZ 制冷機(jī)低溫泵YZ 余擺線真空泵 DG 灌注式低溫泵L 濺射離子泵 IF 分子篩吸附泵XD 單級多旋片式真空泵 SZ 水環(huán)泵

正確地組合真空泵；由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

無油(耐腐蝕)立式往復(fù)真空泵是臥式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，是獲得粗真空的主要設(shè)備。由于采用全密封裝置，實現(xiàn)了曲軸箱和汽缸的完全隔離；加上活塞環(huán)使用了自潤滑材料，便實現(xiàn)了先進(jìn)的無油潤滑。由于無污水排放，所以該型真空泵特別適用于化工、制藥和食品等行業(yè)的真空蒸餾、真空蒸發(fā)、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。