我國(guó)使用的0

我國(guó)使用的0.1微米十級(jí)潔凈室主要依賴(lài)從國(guó)外進(jìn)口。由于高潔凈級(jí)別的潔凈室造價(jià)十分昂貴，0.1微米十級(jí)潔凈室每平方米造價(jià)高達(dá)1萬(wàn)美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠(chǎng)房占有相當(dāng)高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來(lái)越快的發(fā)展趨勢(shì)不相適應(yīng)，嚴(yán)重制約了大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展。美國(guó)ASYST公司、德國(guó)MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。該項(xiàng)的潔凈技術(shù)在100級(jí)潔凈度的潔凈廠(chǎng)房中，采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境，把投資比例壓縮到別的微環(huán)境，消除了操作者與工藝設(shè)備運(yùn)行的二次污染源產(chǎn)生對(duì)集成電路成品率和可靠性的影響作用。

九十年代初至今，是國(guó)內(nèi)潔凈技術(shù)與國(guó)際接軌，天津潔凈車(chē)間技術(shù)，走向規(guī)范化的時(shí)

潔凈技術(shù)在中國(guó)的發(fā)展在中國(guó)，潔凈技術(shù)的起步和奠基階段是六十年代初至七十年代末。1965 年，由中國(guó)建筑科學(xué)研究院空氣調(diào)節(jié)研究所和蚌埠絕緣材料廠(chǎng)等單位研制完成帶波紋隔板的空氣過(guò)濾器通過(guò)鑒定，標(biāo)志了我國(guó)潔凈技術(shù)開(kāi)始正式起步。同時(shí)，一此電子技術(shù)、精密機(jī)械和工業(yè)相關(guān)的設(shè)計(jì)院，天津潔凈車(chē)間施工公司，也在探索、研究潔凈室的工程設(shè)計(jì)。1965年建成的沈陽(yáng)119廠(chǎng)和石家莊13所就是由三機(jī)部四院（現(xiàn)航空工業(yè)部第四設(shè)計(jì)院）和四機(jī)部第二設(shè)計(jì)院（現(xiàn)中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院）分別參照原蘇聯(lián)的妝化等級(jí)設(shè)計(jì)建設(shè)的。到七十年代末至八十年代末，這十年間，中國(guó)的潔凈技術(shù)經(jīng)歷了一段陽(yáng)光燦爛的發(fā)展階段，許多標(biāo)志性的重要成果，幾乎都誕生在這個(gè)階段，如標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范制定與國(guó)際交往方面；生物潔凈室在方面陸續(xù)得到推廣應(yīng)用；在產(chǎn)品研制與開(kāi)發(fā)方面達(dá)到八十年代國(guó)外的技術(shù)水平等等。九十年代初至今，是國(guó)內(nèi)潔凈技術(shù)與國(guó)際接軌，天津潔凈車(chē)間，走向規(guī)范化的時(shí)代。隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)始終保持穩(wěn)定的高速增長(zhǎng)，國(guó)際投資持續(xù)注入，天津潔凈車(chē)間公司，一批跨國(guó)集團(tuán)在中國(guó)陸續(xù)興建了眾多的微電子工廠(chǎng)因此國(guó)內(nèi)技術(shù)與研究人員有更多機(jī)會(huì)直接接觸國(guó)外別潔凈室的設(shè)計(jì)理念，了解世界的先進(jìn)設(shè)備和裝置、管理與維護(hù)等等。從這方面來(lái)看，的確從各個(gè)角度與國(guó)際日益接軌。

機(jī)房方位空調(diào)機(jī)房接近需求送風(fēng)量大的凈化車(chē)間，力求風(fēng)管的線(xiàn)路。但從避免噪聲和振蕩來(lái)說(shuō)又需求把凈化車(chē)間與機(jī)房離隔。這兩方面都予以思考。離隔方法有：結(jié)構(gòu)別離方法。有以下幾種：(1)沉降縫離隔式。使沉降縫在凈化車(chē)間與機(jī)房之間經(jīng)過(guò)，起切割效果。(2)夾壁墻離隔式。假如機(jī)房緊靠?jī)艋?chē)間，不是共用一面墻隔墻，而是各自有各自的隔墻，而雙面隔墻之間留有必定寬度的縫隙。(3)輔佐室離隔式。在凈化車(chē)間與機(jī)房之間設(shè)輔佐室，起緩沖效果。

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