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脈沖激光沉積的優(yōu)點
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1. 易獲得期望化學(xué)計量比的多組分薄膜,即具有良好的保成分性;
2. 沉積速率高,試驗周期短,襯底溫度要求低,制備的薄膜均勻;
3. 工藝參數(shù)任意調(diào)節(jié),激光脈沖沉積裝置多少錢,對靶材的種類沒有限制;
4. 發(fā)展?jié)摿薮?,具有極大的兼容性;
5. 便于清潔處理,可以制備多種薄膜材料。
脈沖激光沉積設(shè)備介紹
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是比較理想的薄膜與涂層合成設(shè)備??芍苽涞谋∧ぐǖ?、氧化物、多層膜、鉆石、石墨烯、碳納米管、2D材料。Blue Wave還提供相關(guān)系統(tǒng)配件,例如基片加熱裝置、原位監(jiān)測工具。此外,BlueWave還為您提供標準的薄膜以及材料涂層,例如氧化物涂層、導(dǎo)電薄膜、無定型或納米晶Si/SiC、晶體AlN-GaN、聚合物、納米鉆石、HFCVD鉆石涂層以及器件加工。
PLD450型脈沖激光鍍膜介紹
沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——脈沖激光沉積供應(yīng)商,我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?/p>
主要用途:
用于制備超導(dǎo)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。適用于各大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備?! ?/p>
系統(tǒng)組成:
主要由濺射真空室、旋轉(zhuǎn)靶臺、基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成?! ?/p>
企業(yè): 沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司
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