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磁控濺射設(shè)備的主要用途
沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司擁有先進(jìn)的技術(shù),我們都以質(zhì)量為本,信譽(yù)高,我們竭誠歡迎廣大的顧客來公司洽談業(yè)務(wù)。如果您對磁控濺射產(chǎn)品感興趣,歡迎點(diǎn)擊左右兩側(cè)的在線客服,單靶磁控濺射儀公司,或撥打咨詢電話。
(1)各種功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如,低溫沉積氮化硅減反射膜,以提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。
(2)裝飾領(lǐng)域的應(yīng)用,如各種全反射膜及半透明膜等,如手機(jī)外殼,鼠標(biāo)等。
(3) 在微電子領(lǐng)域作為一種非熱式鍍膜技術(shù),主要應(yīng)用在化學(xué)氣相沉積(CVD)或金屬有機(jī)
(4)化學(xué)氣相沉積(CVD)生長困難及不適用的材料薄膜沉積,單靶磁控濺射儀價格,而且可以獲得大面積非常均勻的薄膜。
(5) 在光學(xué)領(lǐng)域:中頻閉合場非平衡磁控濺射技術(shù)也已在光學(xué)薄膜(如增透膜)、低輻射玻璃和透明導(dǎo)電玻璃等方面得到應(yīng)用。特別是透明導(dǎo)電玻璃廣泛應(yīng)用于平板顯示器件、太陽能電池、微波與射頻屏蔽裝置與器件、傳感器等。
(6)在機(jī)械加工行業(yè)中,表面功能膜、超硬膜,自潤滑薄膜的表面沉積技術(shù)自問世以來得到長足發(fā)展,能有效的提高表面硬度、復(fù)合韌性、耐磨損性和抗高溫化學(xué)穩(wěn)定性能,從而大幅度地提高涂層產(chǎn)品的使用壽命。
磁控濺射除上述已被大量應(yīng)用的領(lǐng)域,還在高溫超導(dǎo)薄膜、鐵電體薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜發(fā)光材料、太陽能電池、記憶合金薄膜研究方面發(fā)揮重要作用。
直流磁控濺射技術(shù)的原理
沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——生產(chǎn)、銷售磁控濺射產(chǎn)品,我們公司堅(jiān)持用戶為上帝,想用戶之所想,急用戶之所急,以誠為本,講求信譽(yù),以產(chǎn)品求發(fā)展,單靶磁控濺射儀,以質(zhì)量求生存,我們熱誠地歡迎各位同仁合作共創(chuàng)輝煌。
直流磁控濺射技術(shù)其原理是:在磁控濺射中,由于運(yùn)動電子在磁場中受到洛侖茲力,它們的運(yùn)動軌跡會發(fā)生彎曲甚至產(chǎn)生螺旋運(yùn)動,其運(yùn)動路徑變長,因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數(shù),使等離子體密度增大,從而磁控濺射速率得到很大的提高,而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作,單靶磁控濺射儀廠家,降低薄膜污染的傾向;另一方面也提高了入射到襯底表面的原子的能量,因而可以在很大程度上改善薄膜的質(zhì)量。同時,經(jīng)過多次碰撞而喪失能量的電子到達(dá)陽極時,已變成低能電子,從而不會使基片過熱。因此磁控濺射法具有“高速”、“低溫”的優(yōu)點(diǎn)。
磁控濺射系統(tǒng)介紹
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真空泵和測量裝置:
低真空:干泵和convectron真空規(guī)
高真空:渦輪分子泵,低溫泵和離子規(guī)
5.控制系統(tǒng):
硬件:PLC和計(jì)算機(jī)觸摸屏控制
自動和手動沉積控制
主要特點(diǎn):
射頻電源:基底預(yù)先清洗和等離子體輔助沉積
溫度控制器:基底加熱
大面積基底傳送裝置
冷卻系統(tǒng)
企業(yè): 沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司
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