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在應用潔凈室技術的相關行業(yè)中,電子行業(yè)對潔凈及相關受控環(huán)境依賴性大,潔凈技術在電子行業(yè)應用約占整個潔凈行業(yè)市場的67%。在我國,電子行業(yè)每年花費在潔凈室方面的費用約為50億元,其中,以集成電路芯片生產線為代表的微電子行業(yè)每年約30億元。另外,平板顯示(FPD)產業(yè)作為支撐我國電子信息產業(yè)持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略性產業(yè),花粉無塵車間電話,也是潔凈室相關供應商的重要用戶。據調查,世界上面積大的潔凈室即應用于平板顯示行業(yè),一個單體的潔凈室廠房面積可容納32架飛機。
潔凈技術對我國電子信息產業(yè)發(fā)展意義重大,因為它與產品的成品率有著直接關系。電子行業(yè)對生產環(huán)境的要求非常高,特別是對直徑小于1微米的顆粒特別敏感,因為它們能引起金屬層之間的短路。
1、在安裝過程中,除常規(guī)安裝工藝外,必須著重要考慮施工對象和施工環(huán)境的潔凈、衛(wèi)生、美觀,無塵廠房施工工藝必須符合GMP認證的要求。
2、無塵凈化工程在施工安裝過程中,各交叉配合作業(yè)量大,工序之間相互銜接要求高,因此,在施工時,必須制訂出詳盡的施工協作計劃,嚴格按照施工程序施工,保證環(huán)境潔凈、衛(wèi)生。
3、無塵凈化工程對安裝施工機械設備的選樣、材料的采用、安裝技術操作要求較高;工藝設備制造精良,并且呈體積小,重量輕的趨勢,且較多設備采用不銹鋼制造;采用的材料品種規(guī)格數量繁多,工藝管道材質采用不銹鋼較多,其焊接工作有很強的技術性。
4、無塵凈化工程的管道安裝配管時一定要考慮其美觀,盡量靠墻布置。在施工中一定要注意協調好各工種相互間的關系,確定施工順序,做到互不干擾,確保管道安裝的標高、坡度,便于今后維修的原則。
一、不攜入
在無塵室內不攜入微粒子的方法有:
1)作業(yè)員進入無塵室前,機臺、零件攜入前應進行清潔處理;
2)進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3)通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進入無塵室。
4)機器及材料帶進無塵室前,應盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭,經風淋室吹淋后才進入無塵室。
5)無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
二、不發(fā)生
在控制污染源--人在無塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時,也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時,所產生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵,而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到小限度應采取以下對策:
1)減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài);
2)采用磨耗發(fā)塵小的材質;
3)采用發(fā)塵小的潤滑油;
4)機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。
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