三維表面測量儀是一款用于實(shí)驗(yàn)室研究和生產(chǎn)控制的高分辨率光學(xué)測量儀，它將形貌測量和粗糙度測量地結(jié)合在同一個(gè)系統(tǒng)中，垂直分辨率達(dá)10nm?！　∪S表面測量儀是通過發(fā)射激光來掃描被測物，以獲取被測物體表面的三維坐標(biāo)。具有率、高精度的測量優(yōu)勢。三維表面測量儀使用冷光源系統(tǒng)，可以避免容易變形的工件在測量是因?yàn)闊嶙冃嗡a(chǎn)生的誤差，并避免了由于碰觸引起的變形。不受零件表面紋理和材質(zhì)影響的高度方向的精密測量，實(shí)現(xiàn)真正的非接觸式的3D測量。使得微細(xì)制造的零件在測量高度、平面度及空間角度等位置關(guān)系方面成為可能，并且具有高可靠性的測量準(zhǔn)確性和重復(fù)性；批量的產(chǎn)品數(shù)百數(shù)據(jù)可以通過按一個(gè)按鈕實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測量和自動(dòng)輸出結(jié)果，改變傳統(tǒng)的依靠經(jīng)驗(yàn)的手動(dòng)測量方式，使自動(dòng)測量的重復(fù)性控制在微米級(jí)，大程度地提高檢測水平，促進(jìn)制造品質(zhì)的提高。

光學(xué)影像測量儀檢測是一種常見測量技術(shù)，通過提供了量化的圖像測量方式，獲得測量數(shù)據(jù)，從而對零部件公差尺寸進(jìn)行把控，是機(jī)械、電子制造業(yè)，計(jì)量測試所廣泛使用的一種多用途計(jì)量儀器。

影像測量儀的誤差來源有哪些呢？ （1）光柵尺記數(shù)的偏差; （2）操作臺(tái)挪動(dòng)時(shí)存有的平行度、角擺產(chǎn)生的偏差; （3）操作臺(tái)兩精l確測量軸平整度帶的偏差; （4）攝像鏡頭直線光軸與操作臺(tái)不垂直帶的偏差; （5）精l確測量工作溫度轉(zhuǎn)變產(chǎn)生的偏差; （6）燈源照明燈具標(biāo)準(zhǔn)的轉(zhuǎn)變產(chǎn)生的自動(dòng)對焦和指向偏差。

全自動(dòng)影像測量儀的使用環(huán)境： 1.避振如果影像測量儀受到額外的周圍振動(dòng)，3D光學(xué)表面形貌儀，測量精度將會(huì)降低。當(dāng)頻率小于10Hz時(shí)，周圍振動(dòng)的振幅不應(yīng)該超過2μm（峰-峰差值）；當(dāng)頻率在10Hz到50Hz之間時(shí)，則加速度不應(yīng)超過0.4Gal。如果振動(dòng)超過這些限制，應(yīng)該采用防振措施（例如安裝振動(dòng)阻尼器）。2.無塵影像測量儀構(gòu)成組件必須保證無灰塵。雖然防塵罩對影像測量儀有一定的防護(hù)作用，但測量儀仍應(yīng)定期清潔。3.電源使用90～264VAC，47-63Hz，10Amp下的穩(wěn)定電源，以確保儀器正常運(yùn)行。

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